STAGE SYSTEM, LITHOGRAPHIC APPARATUS AND DEVICE MANUFACTURING METHOD

The invention pertains to a stage system, and to a lithographic apparatus and a method for manufacturing a device in which a stage system is used. In the stage system (1) a positioning system is provided comprising an actuator (10) adapted to position an object table (2). The actuator comprises a magnet assembly (20) and a coil assembly (11). The magnet assembly comprises a first magnetic body (21) and a second magnetic body (22), which are in use subjected to a internal magnetic force. The magnet assembly has a separate interface (23, 24) for connecting each magnetic body to the object table separately. The magnet assembly further comprises a spacer device (25, 26), which holds the first and second magnetic body at a relative distance to each other in at least the direction of the internal magnetic force. L'invention concerne un système à plateau, ainsi qu'un appareil lithographique et un procédé de fabrication d'un dispositif dans lequel un système à plateau est utilisé. Dans le système à plateau (1), un système de positionnement comprend un actionneur (10) conçu pour positionner une table porte-objets (2). L'actionneur comprend un montage d'aimants (20) et un montage de bobines (11). Le montage d'aimants comprend un premier corps magnétique (21) et un second corps magnétique (22), qui sont soumis à une force magnétique interne lors de leur utilisation. Le montage d'aimants comporte une interface séparée (23, 24) permettant de connecter séparément chaque corps magnétique à la table porte-objets. Le montage magnétique comprend en outre un dispositif d'espacement (25, 26) qui maintient les premier et second corps magnétiques à une distance relative l'un de l'autre au moins dans la direction de la force magnétique interne.