ETCHING METAL USING N-HETEROCYCLIC CARBENES

An etchant is described that includes an N-heterocyclic carbene and optionally an appropriate solvent. The etchant was effective at etching a metallic surface having, for example, a metal oxide and/or metal, in both solution phase and vapour-phase. The etchant has been shown to effectively etch oxid...

Ausführliche Beschreibung

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Hauptverfasser: MARIAMPILLAI, Brian E, ALRASHED, Abrar R.E, HORTON, J. Hugh, CRUDDEN, Cathleen M
Format: Patent
Sprache:eng ; fre
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Beschreibung
Zusammenfassung:An etchant is described that includes an N-heterocyclic carbene and optionally an appropriate solvent. The etchant was effective at etching a metallic surface having, for example, a metal oxide and/or metal, in both solution phase and vapour-phase. The etchant has been shown to effectively etch oxidized copper and tungsten. L'invention concerne un agent de gravure comprenant un carbène N-hétérocyclique et éventuellement un solvant approprié. L'agent de gravure est efficace pour graver une surface métallique ayant, par exemple, un oxyde métallique et/ou un métal, à la fois en phase de solution et en phase vapeur. Il a été démontré que l'agent de gravure peut graver efficacement du cuivre et du tungstène oxydés.