POINT OF DISPENSE HEAT EXCHANGER FOR FLUIDS

A heat exchanger (10, 30, 50, 70, 90, 120, 140, 160, 180, 190, 200, 300) for fluids includes an elongated conduit (12, 32, 52, 72, 92, 122, 142, 162, 182, 192, 202, 302). At least two spaced fluid passageways (18, 38, 58, 78, 98, 128, 148, 168, 188, 194, 206, 208, 312) are defined in the conduit and extend longitudinally through the conduit from a first end thereof to a second end thereof. A heat transfer element (26, 46, 66, 136, 159, 240, 330) thermally contacts a surface of the conduit to transfer heat to or from a fluid flowing through the at least two spaced passageways. The conduit can be unitary and of one piece. In one embodiment, the conduit can be a single crystal. The heat exchanger is adapted to be installed in a nozzle (400) of a fluid dispenser such as is employed for semiconductor manufacturing. L'invention concerne un échangeur de chaleur (10, 30, 50, 70, 90, 120, 140, 160, 180, 190, 200, 300) pour fluides, comprenant un conduit allongé (12, 32, 52, 72, 92, 122, 142, 162, 182, 192, 202, 302). Au moins deux passages de fluide espacés (18, 38, 58, 78, 98, 128, 148, 168, 188, 194, 206, 208, 312) sont délimités dans le conduit et s'étendent longitudinalement à travers le conduit, d'une première extrémité du conduit à une seconde extrémité du conduit. Un élément de transfert de chaleur (26, 46, 66, 136, 159, 240, 330) entre en contact thermique avec une face du conduit afin de transférer de la chaleur vers un fluide s'écoulant à travers lesdits passages espacés ou à partir de ce dernier. Le conduit peut être monobloc et d'une seule pièce. Selon un mode de réalisation, le conduit peut être un cristal unique. L'échangeur de chaleur est conçu pour être installé dans une buse (400) d'un distributeur de fluides tel que celles utilisées pour la fabrication de semi-conducteurs.