PRESSURE MEASUREMENT AT THE TEST GAS INLET

Vorrichtung zur Messung des Drucks am Prüfgaseinlass (18) eines massenspektrometrischen Lecksuchers, wobei ein Massenspektrometer (12) mit dem Einlass (22) einer Hochvakuumpumpe (14) verbunden ist, deren Auslass (24) mit dem Einlass (26) einer Vorvakuumpumpe (16) verbunden ist, und der Einlass (26)...

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Hauptverfasser:	GERDAU, Ludolf, WETZIG, Daniel, BRUHNS, Hjalmar, MOSER, Norbert, SCHMITZ, Günter
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre ; ger
Schlagworte:	MEASURING PHYSICS TESTING TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES ORSTRUCTURES TESTING STRUCTURES OR APPARATUS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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creator	GERDAU, Ludolf WETZIG, Daniel BRUHNS, Hjalmar MOSER, Norbert SCHMITZ, Günter
description	Vorrichtung zur Messung des Drucks am Prüfgaseinlass (18) eines massenspektrometrischen Lecksuchers, wobei ein Massenspektrometer (12) mit dem Einlass (22) einer Hochvakuumpumpe (14) verbunden ist, deren Auslass (24) mit dem Einlass (26) einer Vorvakuumpumpe (16) verbunden ist, und der Einlass (26) der Vorvakuumpumpe (16) mit dem Prüfgaseinlass (18) verbunden ist dadurch gekennzeichnet, dass der Einlass (26) der Vorvakuumpumpe (16) und mindestens ein Zwischengaseinlass (34) der Hochvakuumpumpe (14) durch eine eine Flussdrossel (42) aufweisende Verbindungsleitung (38) miteinander verbunden sind. The invention relates to a device for measuring the pressure at the test gas inlet (18) of a mass spectrometric leak detector, wherein a mass spectrometer (12) is connected to the inlet (22) of a high-vacuum pump (14), the outlet (24) of which is connected to the inlet (26) of a fore pump (16), and the inlet (26) of the fore pump (16) is connected to the test gas inlet (18). The invention is characterized in that the inlet (26) of the pre-vacuum pump (16) and at least one intermediate gas inlet (34) of the high-vacuum pump (14) are connected to one another via a connecting line (38) having a flow restrictor (42). L'invention concerne un dispositif de mesure de la pression à l'orifice d'entrée de gaz témoin (18) d'un détecteur de fuite à spectrométrie de masse. Un spectromètre de masse (12) est relié à l'orifice d'entrée (22) d'une pompe à vide poussé (14) dont l'orifice de sortie (24) est relié à l'orifice d'entrée (26) d'une pompe à vide primaire (16), et l'orifice d'entrée (26) de la pompe à vide primaire (16) est relié à l'orifice d'entrée de gaz témoin (18). L'invention est caractérisée en ce que l'orifice d'entrée (26) de la pompe à vide primaire (16) et au moins un orifice d'entrée de gaz intermédiaire (34) de la pompe à vide poussé (14) sont reliés l'un à l'autre par une conduite de liaison (38) pourvue d'un restricteur de flux (42).
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The invention relates to a device for measuring the pressure at the test gas inlet (18) of a mass spectrometric leak detector, wherein a mass spectrometer (12) is connected to the inlet (22) of a high-vacuum pump (14), the outlet (24) of which is connected to the inlet (26) of a fore pump (16), and the inlet (26) of the fore pump (16) is connected to the test gas inlet (18). The invention is characterized in that the inlet (26) of the pre-vacuum pump (16) and at least one intermediate gas inlet (34) of the high-vacuum pump (14) are connected to one another via a connecting line (38) having a flow restrictor (42). L'invention concerne un dispositif de mesure de la pression à l'orifice d'entrée de gaz témoin (18) d'un détecteur de fuite à spectrométrie de masse. Un spectromètre de masse (12) est relié à l'orifice d'entrée (22) d'une pompe à vide poussé (14) dont l'orifice de sortie (24) est relié à l'orifice d'entrée (26) d'une pompe à vide primaire (16), et l'orifice d'entrée (26) de la pompe à vide primaire (16) est relié à l'orifice d'entrée de gaz témoin (18). L'invention est caractérisée en ce que l'orifice d'entrée (26) de la pompe à vide primaire (16) et au moins un orifice d'entrée de gaz intermédiaire (34) de la pompe à vide poussé (14) sont reliés l'un à l'autre par une conduite de liaison (38) pourvue d'un restricteur de flux (42).</description><language>eng ; fre ; ger</language><subject>MEASURING ; PHYSICS ; TESTING ; TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES ORSTRUCTURES ; TESTING STRUCTURES OR APPARATUS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR</subject><creationdate>2017</creationdate><oa>free_for_read</oa><woscitedreferencessubscribed>false</woscitedreferencessubscribed></display><links><openurl>$$Topenurl_article</openurl><openurlfulltext>$$Topenurlfull_article</openurlfulltext><thumbnail>$$Tsyndetics_thumb_exl</thumbnail><linktohtml>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&date=20170518&DB=EPODOC&CC=WO&NR=2017081136A1$$EHTML$$P50$$Gepo$$Hfree_for_read</linktohtml><link.rule.ids>230,308,780,885,25563,76318</link.rule.ids><linktorsrc>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&date=20170518&DB=EPODOC&CC=WO&NR=2017081136A1$$EView_record_in_European_Patent_Office$$FView_record_in_$$GEuropean_Patent_Office$$Hfree_for_read</linktorsrc></links><search><creatorcontrib>GERDAU, Ludolf</creatorcontrib><creatorcontrib>WETZIG, Daniel</creatorcontrib><creatorcontrib>BRUHNS, Hjalmar</creatorcontrib><creatorcontrib>MOSER, Norbert</creatorcontrib><creatorcontrib>SCHMITZ, Günter</creatorcontrib><title>PRESSURE MEASUREMENT AT THE TEST GAS INLET</title><description>Vorrichtung zur Messung des Drucks am Prüfgaseinlass (18) eines massenspektrometrischen Lecksuchers, wobei ein Massenspektrometer (12) mit dem Einlass (22) einer Hochvakuumpumpe (14) verbunden ist, deren Auslass (24) mit dem Einlass (26) einer Vorvakuumpumpe (16) verbunden ist, und der Einlass (26) der Vorvakuumpumpe (16) mit dem Prüfgaseinlass (18) verbunden ist dadurch gekennzeichnet, dass der Einlass (26) der Vorvakuumpumpe (16) und mindestens ein Zwischengaseinlass (34) der Hochvakuumpumpe (14) durch eine eine Flussdrossel (42) aufweisende Verbindungsleitung (38) miteinander verbunden sind. The invention relates to a device for measuring the pressure at the test gas inlet (18) of a mass spectrometric leak detector, wherein a mass spectrometer (12) is connected to the inlet (22) of a high-vacuum pump (14), the outlet (24) of which is connected to the inlet (26) of a fore pump (16), and the inlet (26) of the fore pump (16) is connected to the test gas inlet (18). The invention is characterized in that the inlet (26) of the pre-vacuum pump (16) and at least one intermediate gas inlet (34) of the high-vacuum pump (14) are connected to one another via a connecting line (38) having a flow restrictor (42). L'invention concerne un dispositif de mesure de la pression à l'orifice d'entrée de gaz témoin (18) d'un détecteur de fuite à spectrométrie de masse. Un spectromètre de masse (12) est relié à l'orifice d'entrée (22) d'une pompe à vide poussé (14) dont l'orifice de sortie (24) est relié à l'orifice d'entrée (26) d'une pompe à vide primaire (16), et l'orifice d'entrée (26) de la pompe à vide primaire (16) est relié à l'orifice d'entrée de gaz témoin (18). L'invention est caractérisée en ce que l'orifice d'entrée (26) de la pompe à vide primaire (16) et au moins un orifice d'entrée de gaz intermédiaire (34) de la pompe à vide poussé (14) sont reliés l'un à l'autre par une conduite de liaison (38) pourvue d'un restricteur de flux (42).</description><subject>MEASURING</subject><subject>PHYSICS</subject><subject>TESTING</subject><subject>TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES ORSTRUCTURES</subject><subject>TESTING STRUCTURES OR APPARATUS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR</subject><fulltext>true</fulltext><rsrctype>patent</rsrctype><creationdate>2017</creationdate><recordtype>patent</recordtype><sourceid>EVB</sourceid><recordid>eNrjZNAKCHINDg4NclXwdXUE0b6ufiEKjiEKIR6uCiGuwSEK7o7BCp5-Pq4hPAysaYk5xam8UJqbQdnNNcTZQze1ID8-tbggMTk1L7UkPtzfyMDQ3MDC0NDYzNHQmDhVAOaWJYc</recordid><startdate>20170518</startdate><enddate>20170518</enddate><creator>GERDAU, Ludolf</creator><creator>WETZIG, Daniel</creator><creator>BRUHNS, Hjalmar</creator><creator>MOSER, Norbert</creator><creator>SCHMITZ, Günter</creator><scope>EVB</scope></search><sort><creationdate>20170518</creationdate><title>PRESSURE MEASUREMENT AT THE TEST GAS INLET</title><author>GERDAU, Ludolf ; WETZIG, Daniel ; BRUHNS, Hjalmar ; MOSER, Norbert ; SCHMITZ, Günter</author></sort><facets><frbrtype>5</frbrtype><frbrgroupid>cdi_FETCH-epo_espacenet_WO2017081136A13</frbrgroupid><rsrctype>patents</rsrctype><prefilter>patents</prefilter><language>eng ; fre ; ger</language><creationdate>2017</creationdate><topic>MEASURING</topic><topic>PHYSICS</topic><topic>TESTING</topic><topic>TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES ORSTRUCTURES</topic><topic>TESTING STRUCTURES OR APPARATUS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR</topic><toplevel>online_resources</toplevel><creatorcontrib>GERDAU, Ludolf</creatorcontrib><creatorcontrib>WETZIG, Daniel</creatorcontrib><creatorcontrib>BRUHNS, Hjalmar</creatorcontrib><creatorcontrib>MOSER, Norbert</creatorcontrib><creatorcontrib>SCHMITZ, Günter</creatorcontrib><collection>esp@cenet</collection></facets><delivery><delcategory>Remote Search Resource</delcategory><fulltext>fulltext_linktorsrc</fulltext></delivery><addata><au>GERDAU, Ludolf</au><au>WETZIG, Daniel</au><au>BRUHNS, Hjalmar</au><au>MOSER, Norbert</au><au>SCHMITZ, Günter</au><format>patent</format><genre>patent</genre><ristype>GEN</ristype><title>PRESSURE MEASUREMENT AT THE TEST GAS INLET</title><date>2017-05-18</date><risdate>2017</risdate><abstract>Vorrichtung zur Messung des Drucks am Prüfgaseinlass (18) eines massenspektrometrischen Lecksuchers, wobei ein Massenspektrometer (12) mit dem Einlass (22) einer Hochvakuumpumpe (14) verbunden ist, deren Auslass (24) mit dem Einlass (26) einer Vorvakuumpumpe (16) verbunden ist, und der Einlass (26) der Vorvakuumpumpe (16) mit dem Prüfgaseinlass (18) verbunden ist dadurch gekennzeichnet, dass der Einlass (26) der Vorvakuumpumpe (16) und mindestens ein Zwischengaseinlass (34) der Hochvakuumpumpe (14) durch eine eine Flussdrossel (42) aufweisende Verbindungsleitung (38) miteinander verbunden sind. The invention relates to a device for measuring the pressure at the test gas inlet (18) of a mass spectrometric leak detector, wherein a mass spectrometer (12) is connected to the inlet (22) of a high-vacuum pump (14), the outlet (24) of which is connected to the inlet (26) of a fore pump (16), and the inlet (26) of the fore pump (16) is connected to the test gas inlet (18). The invention is characterized in that the inlet (26) of the pre-vacuum pump (16) and at least one intermediate gas inlet (34) of the high-vacuum pump (14) are connected to one another via a connecting line (38) having a flow restrictor (42). L'invention concerne un dispositif de mesure de la pression à l'orifice d'entrée de gaz témoin (18) d'un détecteur de fuite à spectrométrie de masse. Un spectromètre de masse (12) est relié à l'orifice d'entrée (22) d'une pompe à vide poussé (14) dont l'orifice de sortie (24) est relié à l'orifice d'entrée (26) d'une pompe à vide primaire (16), et l'orifice d'entrée (26) de la pompe à vide primaire (16) est relié à l'orifice d'entrée de gaz témoin (18). L'invention est caractérisée en ce que l'orifice d'entrée (26) de la pompe à vide primaire (16) et au moins un orifice d'entrée de gaz intermédiaire (34) de la pompe à vide poussé (14) sont reliés l'un à l'autre par une conduite de liaison (38) pourvue d'un restricteur de flux (42).</abstract><oa>free_for_read</oa></addata></record>
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