METHOD FOR PRODUCING A HOUSING COVER, METHOD FOR PRODUCING AN OPTOELECTRONIC COMPONENT, AND OPTOELECTRONIC COMPONENT

Ein Verfahren zum Herstellen eines Gehäusedeckels umfasst Schritte zum Bereitstellen eines Deckelrohlings mit einer an einer Unterseite ausgebildeten Montagefläche, zum Verbinden der Unterseite des Deckelrohlings mit einer Siliziumscheibe, zum Anlegen mindestens einer Öffnung in der Siliziumscheibe,...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: RUEGHEIMER, Tilmann, DACHS, Jürgen
Format: Patent
Sprache:eng ; fre ; ger
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