NONLINEAR CONTROL OF MASS FLOW CONTROLLER DEVICES USING SLIDING MODE

The disclosed embodiments include a mass flow controller that implements a systematic sliding mode control algorithm that achieves robust and consistent flow-rate set-point tracking. Advantages of the disclosed embodiments include, but not limited to, rapid prototyping of easy-to-maintain embedded firmware and ease-of-tuning of controller parameters, which significantly reduces complexity of controller tuning. Other embodiments, advantages, and novel features are set forth in the detailed description. L'invention concerne des modes de réalisation qui incluent un contrôleur de débit massique qui met en œuvre un algorithme de contrôle en mode glissant systématique qui permet d'obtenir un suivi de point de consigne de débit robuste et constant. Des avantages des modes de réalisation selon l'invention incluent, sans y être limités, un prototypage rapide de micrologiciel incorporé facile à entretenir et de paramètres de contrôleur faciles à régler, ce qui réduit significativement la complexité de réglage du contrôleur. La description détaillée contient d'autres modes de réalisation, avantages et attributs innovants.