SYSTEM FOR POSITIONING AN OBJECT IN LITHOGRAPHY
The invention relates to a lithographic apparatus comprising: - an object (OB) that is moveable in at least one direction (X, Y); - a control system to move the object in the at least one direction, wherein the control system is arranged to control movement of the object in the at least one directio...
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|---|---|
| Format: | Patent |
| Sprache: | eng ; fre |
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| creator | KEMPER, NICOLAAS, RUDOLF VAN DER MEULEN, FRITS HEMPENIUS, PETER, PAUL RIJS, ROBERTUS, MATHIJS, GERARDUS DE VOS, YOUSSEF, KAREL, MARIA DE WIT, PAUL, CORNÉ, HENRI HOUBEN, MARTIJN BOERE, STIJN, WILLEM |
| description | The invention relates to a lithographic apparatus comprising: - an object (OB) that is moveable in at least one direction (X, Y); - a control system to move the object in the at least one direction, wherein the control system is arranged to control movement of the object in the at least one direction in a frequency range of interest; - a conduit (CC) provided with a fluid (CF); wherein the conduit is arranged on or in the object in a pattern, wherein the pattern is such that an acceleration of the object in the at least one direction causes an acceleration pressure profile in the fluid along the conduit, wherein the acceleration pressure profile does not match with a resonance pressure profile that corresponds to a standing wave mode in the fluid with a resonance frequency in the frequency range of interest.
L'invention porte sur un appareil lithographique comprenant : - un objet (OB) qui est mobile dans au moins une direction (X, Y) ; - un système de commande pour déplacer l'objet dans la ou les direction(s), le système de commande servant à commander le déplacement de l'objet dans la ou les direction(s) dans une plage de fréquence d'intérêt ; - une conduite (CC) comportant un fluide (CF) ; la conduite étant agencée sur ou dans l'objet en un motif, le motif étant tel qu'une accélération de l'objet dans la ou les direction(s) crée un profil de pression d'accélération dans le fluide le long de la conduite, le profil de pression d'accélération ne correspondant pas à un profil de pression de résonance qui correspond à un mode d'onde stationnaire dans le fluide avec une fréquence de résonance dans la plage de fréquence d'intérêt. |
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L'invention porte sur un appareil lithographique comprenant : - un objet (OB) qui est mobile dans au moins une direction (X, Y) ; - un système de commande pour déplacer l'objet dans la ou les direction(s), le système de commande servant à commander le déplacement de l'objet dans la ou les direction(s) dans une plage de fréquence d'intérêt ; - une conduite (CC) comportant un fluide (CF) ; la conduite étant agencée sur ou dans l'objet en un motif, le motif étant tel qu'une accélération de l'objet dans la ou les direction(s) crée un profil de pression d'accélération dans le fluide le long de la conduite, le profil de pression d'accélération ne correspondant pas à un profil de pression de résonance qui correspond à un mode d'onde stationnaire dans le fluide avec une fréquence de résonance dans la plage de fréquence d'intérêt.</description><language>eng ; fre</language><subject>APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR ; CINEMATOGRAPHY ; ELECTROGRAPHY ; HOLOGRAPHY ; MATERIALS THEREFOR ; ORIGINALS THEREFOR ; PHOTOGRAPHY ; PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES ; PHYSICS</subject><creationdate>2015</creationdate><oa>free_for_read</oa><woscitedreferencessubscribed>false</woscitedreferencessubscribed></display><links><openurl>$$Topenurl_article</openurl><openurlfulltext>$$Topenurlfull_article</openurlfulltext><thumbnail>$$Tsyndetics_thumb_exl</thumbnail><linktohtml>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&date=20150625&DB=EPODOC&CC=WO&NR=2015090753A1$$EHTML$$P50$$Gepo$$Hfree_for_read</linktohtml><link.rule.ids>230,308,776,881,25543,76293</link.rule.ids><linktorsrc>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&date=20150625&DB=EPODOC&CC=WO&NR=2015090753A1$$EView_record_in_European_Patent_Office$$FView_record_in_$$GEuropean_Patent_Office$$Hfree_for_read</linktorsrc></links><search><creatorcontrib>KEMPER, NICOLAAS, RUDOLF</creatorcontrib><creatorcontrib>VAN DER MEULEN, FRITS</creatorcontrib><creatorcontrib>HEMPENIUS, PETER, PAUL</creatorcontrib><creatorcontrib>RIJS, ROBERTUS, MATHIJS, GERARDUS</creatorcontrib><creatorcontrib>DE VOS, YOUSSEF, KAREL, MARIA</creatorcontrib><creatorcontrib>DE WIT, PAUL, CORNÉ, HENRI</creatorcontrib><creatorcontrib>HOUBEN, MARTIJN</creatorcontrib><creatorcontrib>BOERE, STIJN, WILLEM</creatorcontrib><title>SYSTEM FOR POSITIONING AN OBJECT IN LITHOGRAPHY</title><description>The invention relates to a lithographic apparatus comprising: - an object (OB) that is moveable in at least one direction (X, Y); - a control system to move the object in the at least one direction, wherein the control system is arranged to control movement of the object in the at least one direction in a frequency range of interest; - a conduit (CC) provided with a fluid (CF); wherein the conduit is arranged on or in the object in a pattern, wherein the pattern is such that an acceleration of the object in the at least one direction causes an acceleration pressure profile in the fluid along the conduit, wherein the acceleration pressure profile does not match with a resonance pressure profile that corresponds to a standing wave mode in the fluid with a resonance frequency in the frequency range of interest.
L'invention porte sur un appareil lithographique comprenant : - un objet (OB) qui est mobile dans au moins une direction (X, Y) ; - un système de commande pour déplacer l'objet dans la ou les direction(s), le système de commande servant à commander le déplacement de l'objet dans la ou les direction(s) dans une plage de fréquence d'intérêt ; - une conduite (CC) comportant un fluide (CF) ; la conduite étant agencée sur ou dans l'objet en un motif, le motif étant tel qu'une accélération de l'objet dans la ou les direction(s) crée un profil de pression d'accélération dans le fluide le long de la conduite, le profil de pression d'accélération ne correspondant pas à un profil de pression de résonance qui correspond à un mode d'onde stationnaire dans le fluide avec une fréquence de résonance dans la plage de fréquence d'intérêt.</description><subject>APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR</subject><subject>CINEMATOGRAPHY</subject><subject>ELECTROGRAPHY</subject><subject>HOLOGRAPHY</subject><subject>MATERIALS THEREFOR</subject><subject>ORIGINALS THEREFOR</subject><subject>PHOTOGRAPHY</subject><subject>PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES</subject><subject>PHYSICS</subject><fulltext>true</fulltext><rsrctype>patent</rsrctype><creationdate>2015</creationdate><recordtype>patent</recordtype><sourceid>EVB</sourceid><recordid>eNrjZNAPjgwOcfVVcPMPUgjwD_YM8fT38_RzV3D0U_B38nJ1DlHw9FPw8Qzx8HcPcgzwiORhYE1LzClO5YXS3AzKbq4hzh66qQX58anFBYnJqXmpJfHh_kYGhqYGlgbmpsaOhsbEqQIAr9UnDQ</recordid><startdate>20150625</startdate><enddate>20150625</enddate><creator>KEMPER, NICOLAAS, RUDOLF</creator><creator>VAN DER MEULEN, FRITS</creator><creator>HEMPENIUS, PETER, PAUL</creator><creator>RIJS, ROBERTUS, MATHIJS, GERARDUS</creator><creator>DE VOS, YOUSSEF, KAREL, MARIA</creator><creator>DE WIT, PAUL, CORNÉ, HENRI</creator><creator>HOUBEN, MARTIJN</creator><creator>BOERE, STIJN, WILLEM</creator><scope>EVB</scope></search><sort><creationdate>20150625</creationdate><title>SYSTEM FOR POSITIONING AN OBJECT IN LITHOGRAPHY</title><author>KEMPER, NICOLAAS, RUDOLF ; VAN DER MEULEN, FRITS ; HEMPENIUS, PETER, PAUL ; RIJS, ROBERTUS, MATHIJS, GERARDUS ; DE VOS, YOUSSEF, KAREL, MARIA ; DE WIT, PAUL, CORNÉ, HENRI ; HOUBEN, MARTIJN ; BOERE, STIJN, WILLEM</author></sort><facets><frbrtype>5</frbrtype><frbrgroupid>cdi_FETCH-epo_espacenet_WO2015090753A13</frbrgroupid><rsrctype>patents</rsrctype><prefilter>patents</prefilter><language>eng ; fre</language><creationdate>2015</creationdate><topic>APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR</topic><topic>CINEMATOGRAPHY</topic><topic>ELECTROGRAPHY</topic><topic>HOLOGRAPHY</topic><topic>MATERIALS THEREFOR</topic><topic>ORIGINALS THEREFOR</topic><topic>PHOTOGRAPHY</topic><topic>PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES</topic><topic>PHYSICS</topic><toplevel>online_resources</toplevel><creatorcontrib>KEMPER, NICOLAAS, RUDOLF</creatorcontrib><creatorcontrib>VAN DER MEULEN, FRITS</creatorcontrib><creatorcontrib>HEMPENIUS, PETER, PAUL</creatorcontrib><creatorcontrib>RIJS, ROBERTUS, MATHIJS, GERARDUS</creatorcontrib><creatorcontrib>DE VOS, YOUSSEF, KAREL, MARIA</creatorcontrib><creatorcontrib>DE WIT, PAUL, CORNÉ, HENRI</creatorcontrib><creatorcontrib>HOUBEN, MARTIJN</creatorcontrib><creatorcontrib>BOERE, STIJN, WILLEM</creatorcontrib><collection>esp@cenet</collection></facets><delivery><delcategory>Remote Search Resource</delcategory><fulltext>fulltext_linktorsrc</fulltext></delivery><addata><au>KEMPER, NICOLAAS, RUDOLF</au><au>VAN DER MEULEN, FRITS</au><au>HEMPENIUS, PETER, PAUL</au><au>RIJS, ROBERTUS, MATHIJS, GERARDUS</au><au>DE VOS, YOUSSEF, KAREL, MARIA</au><au>DE WIT, PAUL, CORNÉ, HENRI</au><au>HOUBEN, MARTIJN</au><au>BOERE, STIJN, WILLEM</au><format>patent</format><genre>patent</genre><ristype>GEN</ristype><title>SYSTEM FOR POSITIONING AN OBJECT IN LITHOGRAPHY</title><date>2015-06-25</date><risdate>2015</risdate><abstract>The invention relates to a lithographic apparatus comprising: - an object (OB) that is moveable in at least one direction (X, Y); - a control system to move the object in the at least one direction, wherein the control system is arranged to control movement of the object in the at least one direction in a frequency range of interest; - a conduit (CC) provided with a fluid (CF); wherein the conduit is arranged on or in the object in a pattern, wherein the pattern is such that an acceleration of the object in the at least one direction causes an acceleration pressure profile in the fluid along the conduit, wherein the acceleration pressure profile does not match with a resonance pressure profile that corresponds to a standing wave mode in the fluid with a resonance frequency in the frequency range of interest.
L'invention porte sur un appareil lithographique comprenant : - un objet (OB) qui est mobile dans au moins une direction (X, Y) ; - un système de commande pour déplacer l'objet dans la ou les direction(s), le système de commande servant à commander le déplacement de l'objet dans la ou les direction(s) dans une plage de fréquence d'intérêt ; - une conduite (CC) comportant un fluide (CF) ; la conduite étant agencée sur ou dans l'objet en un motif, le motif étant tel qu'une accélération de l'objet dans la ou les direction(s) crée un profil de pression d'accélération dans le fluide le long de la conduite, le profil de pression d'accélération ne correspondant pas à un profil de pression de résonance qui correspond à un mode d'onde stationnaire dans le fluide avec une fréquence de résonance dans la plage de fréquence d'intérêt.</abstract><oa>free_for_read</oa></addata></record> |
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