METHOD FOR PRODUCING PROTECTIVE LAYERS CONTAINING SILICIDES AND/OR OXIDIZED SILICIDES ON SUBSTRATES
Verfahren zur Herstellung von Schutzschichten enthaltend Silicide und/oder oxidierte Silicide auf einem Substrat, in welchem Silicid oder eine Vorstufe davon auf das Substrat aufgebracht wird und das beschichtete Substrat ohne weitere Bearbeitung einer Temperaturbehandlung oberhalb von 250 °C unterz...
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Hauptverfasser: | , |
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; fre ; ger |
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