ELECTROMECHANICAL SYSTEMS, WAVEGUIDES AND METHODS OF PRODUCTION

A method of producing an electromechanical device includes forming a layer of density- changing material on a substructure, and forming a support layer on at least a portion of the layer of density-changing material. The density-changing material has a first density during the forming the layer and a second density subsequent to the forming the support layer, the second density being greater than the first density such that the layer of density-changing material shrinks in at least one dimension to provide a gap between the layer of density changing material and at least one of the support layer and the substructure. A combined electronic and electromechanical device has a substrate, an electronic circuit formed on the substrate, and an electromechanical system formed on the substrate to provide a combined electronic and electromechanical device on a common substrate. The electromechanical system comprises a structure that is free to move within a gap defined by the electromechanical system. Le procédé selon l'invention servant à produire un dispositif électromécanique consiste à former une couche de matériau changeant de densité sur une sous-structure, et à former une couche de support sur au moins une partie de la couche de matériau changeant de densité. Le matériau changeant de densité présente une première densité pendant la formation de la couche et une deuxième densité consécutive à la formation de la couche de support, la deuxième densité étant supérieure à la première densité de telle sorte que la couche de matériau changeant de densité se rétrécit dans au moins une dimension pour définir un espace entre la couche de matériau changeant de densité et la couche de support et/ou la sous-structure. Un dispositif électronique et électromécanique combiné comporte un substrat, un circuit électronique formé sur le substrat et un système électromécanique formé sur le substrat pour réaliser un dispositif électronique et électromécanique combiné sur un substrat commun. Le système électromécanique comprend une structure qui peut bouger librement dans un espace défini par le système électromécanique.