A CONFIGURABLE MICROMECHANICAL DIFFRACTIVE ELEMENT WITH ANTI STICTION BUMPS
The invention relates to a micromechanical unit, in particular, an adjustable optical filter, and also a method to manufacture the unit. The unit comprises a first device layer and a second substrate layer at least partially fastened to each other, where the device layer comprises a number of reflec...
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| Format: | Patent |
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| creator | BAKKE, THOR ROGNE, HENRIK LACOLLE, MATTHIEU WANG, DAG, TORSTEIN MOE, SIGURD, TEODOR JOHANSEN, IB-RUNE SAGBERG, HAAKON |
| description | The invention relates to a micromechanical unit, in particular, an adjustable optical filter, and also a method to manufacture the unit. The unit comprises a first device layer and a second substrate layer at least partially fastened to each other, where the device layer comprises a number of reflecting elements divided between a number of non movable, fixed reflecting elements, where the fixed elements are connected with the substrate, and where a cavity is defined between the substrate and each movable element and each movable element is set up to produce a spring-loaded movement into the cavity, and where a number of dielectric spacer blocks are placed in the cavities between each movable element and the substrate to avoid electric contact between them.
L'invention concerne une unité micromécanique, en particulier un filtre optique réglable, ainsi qu'un procédé de fabrication de l'unité. L'unité comprend une première couche de dispositif et une deuxième couche de substrat au moins partiellement fixées l'une à l'autre, la couche de dispositif comprenant un certain nombre d'éléments réfléchissants divisés entre un certain nombre d'éléments réfléchissants non mobiles fixes, les éléments fixes étant connectés au substrat, et une cavité étant définie entre le substrat et chaque élément mobile et chaque élément mobile étant conçu pour produire un mouvement à ressort dans la cavité, et un certain nombre de blocs intercalaires diélectriques étaient placés dans les cavités entre chaque élément mobile et le substrat pour éviter tout contact électrique entre eux. |
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L'invention concerne une unité micromécanique, en particulier un filtre optique réglable, ainsi qu'un procédé de fabrication de l'unité. L'unité comprend une première couche de dispositif et une deuxième couche de substrat au moins partiellement fixées l'une à l'autre, la couche de dispositif comprenant un certain nombre d'éléments réfléchissants divisés entre un certain nombre d'éléments réfléchissants non mobiles fixes, les éléments fixes étant connectés au substrat, et une cavité étant définie entre le substrat et chaque élément mobile et chaque élément mobile étant conçu pour produire un mouvement à ressort dans la cavité, et un certain nombre de blocs intercalaires diélectriques étaient placés dans les cavités entre chaque élément mobile et le substrat pour éviter tout contact électrique entre eux.</description><language>eng ; fre</language><subject>MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES ; MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY ; PERFORMING OPERATIONS ; TRANSPORTING</subject><creationdate>2011</creationdate><oa>free_for_read</oa><woscitedreferencessubscribed>false</woscitedreferencessubscribed></display><links><openurl>$$Topenurl_article</openurl><openurlfulltext>$$Topenurlfull_article</openurlfulltext><thumbnail>$$Tsyndetics_thumb_exl</thumbnail><linktohtml>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&date=20110825&DB=EPODOC&CC=WO&NR=2011018521A3$$EHTML$$P50$$Gepo$$Hfree_for_read</linktohtml><link.rule.ids>230,308,776,881,25542,76516</link.rule.ids><linktorsrc>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&date=20110825&DB=EPODOC&CC=WO&NR=2011018521A3$$EView_record_in_European_Patent_Office$$FView_record_in_$$GEuropean_Patent_Office$$Hfree_for_read</linktorsrc></links><search><creatorcontrib>BAKKE, THOR</creatorcontrib><creatorcontrib>ROGNE, HENRIK</creatorcontrib><creatorcontrib>LACOLLE, MATTHIEU</creatorcontrib><creatorcontrib>WANG, DAG, TORSTEIN</creatorcontrib><creatorcontrib>MOE, SIGURD, TEODOR</creatorcontrib><creatorcontrib>JOHANSEN, IB-RUNE</creatorcontrib><creatorcontrib>SAGBERG, HAAKON</creatorcontrib><title>A CONFIGURABLE MICROMECHANICAL DIFFRACTIVE ELEMENT WITH ANTI STICTION BUMPS</title><description>The invention relates to a micromechanical unit, in particular, an adjustable optical filter, and also a method to manufacture the unit. The unit comprises a first device layer and a second substrate layer at least partially fastened to each other, where the device layer comprises a number of reflecting elements divided between a number of non movable, fixed reflecting elements, where the fixed elements are connected with the substrate, and where a cavity is defined between the substrate and each movable element and each movable element is set up to produce a spring-loaded movement into the cavity, and where a number of dielectric spacer blocks are placed in the cavities between each movable element and the substrate to avoid electric contact between them.
L'invention concerne une unité micromécanique, en particulier un filtre optique réglable, ainsi qu'un procédé de fabrication de l'unité. L'unité comprend une première couche de dispositif et une deuxième couche de substrat au moins partiellement fixées l'une à l'autre, la couche de dispositif comprenant un certain nombre d'éléments réfléchissants divisés entre un certain nombre d'éléments réfléchissants non mobiles fixes, les éléments fixes étant connectés au substrat, et une cavité étant définie entre le substrat et chaque élément mobile et chaque élément mobile étant conçu pour produire un mouvement à ressort dans la cavité, et un certain nombre de blocs intercalaires diélectriques étaient placés dans les cavités entre chaque élément mobile et le substrat pour éviter tout contact électrique entre eux.</description><subject>MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES</subject><subject>MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY</subject><subject>PERFORMING OPERATIONS</subject><subject>TRANSPORTING</subject><fulltext>true</fulltext><rsrctype>patent</rsrctype><creationdate>2011</creationdate><recordtype>patent</recordtype><sourceid>EVB</sourceid><recordid>eNqNyj0KwkAQQOE0FqLeYcBayCYItpNx1h3cH9lsTBmCrJVoIN4fLTyA1Su-tyzOCBS8llMXsbEMTigGx2TQC6GFo2gdkZJcGdiyY5-gl2QAfRJok3wpeGg6d2nXxeI-Pua8-XVVbDUnMrs8vYY8T-MtP_N76ENVKlWqw75SWNf_XR8--S6O</recordid><startdate>20110825</startdate><enddate>20110825</enddate><creator>BAKKE, THOR</creator><creator>ROGNE, HENRIK</creator><creator>LACOLLE, MATTHIEU</creator><creator>WANG, DAG, TORSTEIN</creator><creator>MOE, SIGURD, TEODOR</creator><creator>JOHANSEN, IB-RUNE</creator><creator>SAGBERG, HAAKON</creator><scope>EVB</scope></search><sort><creationdate>20110825</creationdate><title>A CONFIGURABLE MICROMECHANICAL DIFFRACTIVE ELEMENT WITH ANTI STICTION BUMPS</title><author>BAKKE, THOR ; ROGNE, HENRIK ; LACOLLE, MATTHIEU ; WANG, DAG, TORSTEIN ; MOE, SIGURD, TEODOR ; JOHANSEN, IB-RUNE ; SAGBERG, HAAKON</author></sort><facets><frbrtype>5</frbrtype><frbrgroupid>cdi_FETCH-epo_espacenet_WO2011018521A33</frbrgroupid><rsrctype>patents</rsrctype><prefilter>patents</prefilter><language>eng ; fre</language><creationdate>2011</creationdate><topic>MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES</topic><topic>MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY</topic><topic>PERFORMING OPERATIONS</topic><topic>TRANSPORTING</topic><toplevel>online_resources</toplevel><creatorcontrib>BAKKE, THOR</creatorcontrib><creatorcontrib>ROGNE, HENRIK</creatorcontrib><creatorcontrib>LACOLLE, MATTHIEU</creatorcontrib><creatorcontrib>WANG, DAG, TORSTEIN</creatorcontrib><creatorcontrib>MOE, SIGURD, TEODOR</creatorcontrib><creatorcontrib>JOHANSEN, IB-RUNE</creatorcontrib><creatorcontrib>SAGBERG, HAAKON</creatorcontrib><collection>esp@cenet</collection></facets><delivery><delcategory>Remote Search Resource</delcategory><fulltext>fulltext_linktorsrc</fulltext></delivery><addata><au>BAKKE, THOR</au><au>ROGNE, HENRIK</au><au>LACOLLE, MATTHIEU</au><au>WANG, DAG, TORSTEIN</au><au>MOE, SIGURD, TEODOR</au><au>JOHANSEN, IB-RUNE</au><au>SAGBERG, HAAKON</au><format>patent</format><genre>patent</genre><ristype>GEN</ristype><title>A CONFIGURABLE MICROMECHANICAL DIFFRACTIVE ELEMENT WITH ANTI STICTION BUMPS</title><date>2011-08-25</date><risdate>2011</risdate><abstract>The invention relates to a micromechanical unit, in particular, an adjustable optical filter, and also a method to manufacture the unit. The unit comprises a first device layer and a second substrate layer at least partially fastened to each other, where the device layer comprises a number of reflecting elements divided between a number of non movable, fixed reflecting elements, where the fixed elements are connected with the substrate, and where a cavity is defined between the substrate and each movable element and each movable element is set up to produce a spring-loaded movement into the cavity, and where a number of dielectric spacer blocks are placed in the cavities between each movable element and the substrate to avoid electric contact between them.
L'invention concerne une unité micromécanique, en particulier un filtre optique réglable, ainsi qu'un procédé de fabrication de l'unité. L'unité comprend une première couche de dispositif et une deuxième couche de substrat au moins partiellement fixées l'une à l'autre, la couche de dispositif comprenant un certain nombre d'éléments réfléchissants divisés entre un certain nombre d'éléments réfléchissants non mobiles fixes, les éléments fixes étant connectés au substrat, et une cavité étant définie entre le substrat et chaque élément mobile et chaque élément mobile étant conçu pour produire un mouvement à ressort dans la cavité, et un certain nombre de blocs intercalaires diélectriques étaient placés dans les cavités entre chaque élément mobile et le substrat pour éviter tout contact électrique entre eux.</abstract><oa>free_for_read</oa></addata></record> |
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