INTRA-CAVITY ELLIPSOMETER SYSTEM AND METHOD

INTRA-CAVITY ELLIPSOMETER SYSTEM AND METHOD

A resonant optical cavity ellipsometer system is provided. The system can be used to conduct time- dependent and sensitive measurement of ellipsometric parameters of matter. In a particular use, the system can provide time resolution of better than 1 microsecond. In a particular implementation, matt...

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1. Verfasser: RAKITZIS, THEODORE, PETER
Format: Patent
Sprache:eng ; fre
Schlagworte:
INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
MEASURING
PHYSICS
TESTING
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creator RAKITZIS, THEODORE, PETER
description A resonant optical cavity ellipsometer system is provided. The system can be used to conduct time- dependent and sensitive measurement of ellipsometric parameters of matter. In a particular use, the system can provide time resolution of better than 1 microsecond. In a particular implementation, matter can be probed within the evanescent wave generated by intra- cavity total reflection. La présente invention concerne un système d'ellipsométrie à cavité optique résonante. Le système peut être utilisé pour conduire des mesures temporelles et sensibles de paramètres ellipsométriques de matière. Dans une utilisation particulière, le système peut fournir une résolution temporelle supérieure à la microseconde. Dans une application particulière, la matière peut être sondée dans l'onde évanescente générée par la réflexion intracavitaire totale.
format Patent
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