LARGE AREA DISSOLVABLE TEMPLATE LITHOGRAPHY

A method and apparatus for patterning a substrate are provided. A template is formed by applying a precursor material to a patterned master substrate and curing or solidifying the precursor material. The template is detached from the master substrate using a carrier having a curved surface. The template is coated with a patterning material, and is then detached from the carrier and applied to the substrate to be patterned. The template is then dissolved without affecting the patterning material, and the patterning material may thereafter be finished to develop the pattern. In an alternate embodiment, the patterning material may be applied to the substrate and then imprinted using the template. L'invention concerne un procédé et un appareil pour créer des motifs sur un substrat. Un modèle est formé en appliquant un matériau précurseur sur un substrat de référence à motifs et en cuisant ou solidifiant le matériau précurseur. Le modèle est détaché du substrat de référence en utilisant un porteur ayant une surface incurvée. Le modèle est recouvert d'un matériau de création de motifs, et il est ensuite détaché du support et appliqué sur le substrat sur lequel les motifs doivent être créés. Le modèle est ensuite dissous sans affecter le matériau de création de motifs, et le matériau de création de motifs peut ensuite faire l'objet d'une finition pour développer le motif. Dans un mode de réalisation en variante, le matériau de dessin peut être appliqué sur le substrat puis imprimé en utilisant le modèle.