MICROSTRUCTURE, METHOD FOR PRODUCING THE SAME, DEVICE FOR BONDING A MICROSTRUCTURE AND MICROSYSTEM

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Mikrostruktur mit wenigstens einem Bondsubstrat und einem reaktiven Mehrschichtsystem, wobei das reaktive Mehrschichtsystem wenigstens eine Oberflächenschicht des Bondsubstrates mit vertikal ausgerichteten, voneinander beabstandeten Nanostrukturen und zwischen...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	WIEMER, MAIK, LETSCH, HOLGER, BRAEUER, JOERG, HOFMANN, LUTZ, FROEMEL, JOERG, GESSNER, THOMAS, BAUM, MARIO
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre ; ger
Schlagworte:	MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY PERFORMING OPERATIONS PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTUREOR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS TRANSPORTING
Online-Zugang:	Volltext bestellen
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!