TRANSPARENT CONDUCTIVE ZINC OXIDE DISPLAY FILM AND PRODUCTION METHOD THEREFOR

The present invention concerns a method for the generation of a transparent conductive oxide display coating (TCO display layer), in particular a transparent conductive oxide display coating as a transparent contact for flat panel displays and the like. The TCO display layer is generated by depositi...

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Hauptverfasser: GRAW, OLIVER, SCHREIBER, UDO
Format: Patent
Sprache:eng ; fre
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creator GRAW, OLIVER
SCHREIBER, UDO
description The present invention concerns a method for the generation of a transparent conductive oxide display coating (TCO display layer), in particular a transparent conductive oxide display coating as a transparent contact for flat panel displays and the like. The TCO display layer is generated by depositing zinc oxide and additionally aluminium, indium, gallium, boron, nitrogen, phosphorous, chlorine, fluorine or antimony or a combination thereof, with the process atmosphere containing hydrogen. These TCO layers can be realized in a particularly simple and cost-effective way compared to ITO. The properties of the inventive TCO layers are nearly as good as those for ITO, regarding high transmittance and low resistance. L'invention concerne un procédé permettant de créer un revêtement d'afficheur en oxyde conducteur transparent (couche d'afficheur TCO), plus précisément, un revêtement d'afficheur en oxyde conducteur comme contact transparent pour écrans plats et analogues. La couche d'afficheur TCO est obtenue par dépôt d'oxyde de zinc et, additionnelleement, d'aluminium, d'indium, de gallium, de bore, d'azote, de phosphore, de chlore, de fluor, ou d'antimoine ou d'une combinaison de ceux-ci, le milieu de traitement contenant de l'hydrogène. Ces couches TCO peuvent être réalisées de façon particulièrement simple et rentable en comparaison avec l'ITO (oxyde d'indium-étain). Les propriétés des couches TCO selon l'invention sont presque aussi excellentes que celles de l'ITO, à savoir une transmittance élevée et une faible résistance.
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Les propriétés des couches TCO selon l'invention sont presque aussi excellentes que celles de l'ITO, à savoir une transmittance élevée et une faible résistance.</description><language>eng ; fre</language><subject>BASIC ELECTRIC ELEMENTS ; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ; ELECTRICITY ; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC ; GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS ; REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGYGENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION ; SEMICONDUCTOR DEVICES ; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS ; TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINSTCLIMATE CHANGE</subject><creationdate>2010</creationdate><oa>free_for_read</oa><woscitedreferencessubscribed>false</woscitedreferencessubscribed></display><links><openurl>$$Topenurl_article</openurl><openurlfulltext>$$Topenurlfull_article</openurlfulltext><thumbnail>$$Tsyndetics_thumb_exl</thumbnail><linktohtml>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&amp;date=20100429&amp;DB=EPODOC&amp;CC=WO&amp;NR=2010046025A1$$EHTML$$P50$$Gepo$$Hfree_for_read</linktohtml><link.rule.ids>230,308,780,885,25564,76547</link.rule.ids><linktorsrc>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&amp;date=20100429&amp;DB=EPODOC&amp;CC=WO&amp;NR=2010046025A1$$EView_record_in_European_Patent_Office$$FView_record_in_$$GEuropean_Patent_Office$$Hfree_for_read</linktorsrc></links><search><creatorcontrib>GRAW, OLIVER</creatorcontrib><creatorcontrib>SCHREIBER, UDO</creatorcontrib><title>TRANSPARENT CONDUCTIVE ZINC OXIDE DISPLAY FILM AND PRODUCTION METHOD THEREFOR</title><description>The present invention concerns a method for the generation of a transparent conductive oxide display coating (TCO display layer), in particular a transparent conductive oxide display coating as a transparent contact for flat panel displays and the like. 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