PHASE CHANGE MEMORY CELLS AND FABRICATION THEREOF
A phase change memory cell, e.g. a line-cell (2), and fabrication thereof, the cell comprising: two electrodes (6, 8); phase change memory material (10) and a dielectric barrier (12). The dielectric barrier (12) is arranged to provide electron tunnelling, e.g. Fowler-Nordheim tunnelling, to the phas...
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; fre |
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