PROBE CARD TEST APPARATUS AND METHOD

A probe card analyzer mounts on a probe card in a wafer prober and a use a fixture in the wafer probe and switch electronics in place of an ATE head. Methods of testing can confirm that probe cards are operating within their specifications over large temperature ranges and the mechanical force ranges seen in real manufacturing environments. This reduces the cost and improves the accuracy and speed of analyzing probe cards and improves diagnosing problems with probe cards. L'invention porte sur un analyseur de carte sonde monté sur une carte sonde dans une machine de test sous pointes et sur l'utilisation d'un montage dans la machine de test sous pointes et sur l'électronique de commutation au lieu d'une tête d'équipement d'essai automatique (ATE). Des procédés de test peuvent confirmer que des cartes sondes sont fonctionnelles dans leurs spécifications sur de larges plages de température et les plages de force mécanique rencontrées dans les environnements de fabrication réels. Ceci réduit le coût et améliore la précision et la vitesse d'analyse de cartes sondes et améliore le diagnostic de problèmes avec des cartes sondes.