PELLICLE PRESSURIZATION MECHANISM OF PELLICLE MOUNT SYSTEM

In the pellicle pressurization mechanism, the whole pellicle assembly is pressurized uniformly even when a pellicle pressurization board is warped or distorted. The pellicle pressurization mechanism of a pellicle mount system clamps an exposure mask (100) and a pellicle assembly (101) between a mask holding mechanism and the pellicle pressurization mechanism being coupled with a drive mechanism, and presses a rectangular pellicle frame (102) of the pellicle assembly (101) against the exposure mask (100) by the pellicle pressurization surface (4a) of the pellicle pressurization mechanism thus mounting the pellicle assembly on the exposure mask. A pellicle pressurization board (4) having a pellicle pressurization surface (4a), and a member (8) for transmitting pressurization force by the drive mechanism to the pellicle pressurization board (4) are provided, and a cushion sheet (31) is interposed between the pellicle pressurization board (4) and the transmission member (8). For example, a belt-shaped member such as a tape made of silicon rubber of low Young's modulus is preferably employed as the cushion sheet (31). Dans le mécanisme de mise sous pression de pellicule de la présente invention, la totalité de l'ensemble pellicule est mise uniformément sous pression même lorsqu'une plaque de mise sous pression de pellicule est gauchie ou tordue. Le mécanisme de mise sous pression de pellicule d'un système de montage de pellicule serre un masque d'exposition (100) et un ensemble pellicule (101) entre un mécanisme de maintien de masque et le mécanisme de mise sous pression de pellicule couplé à un mécanisme d'entraînement, et appuie un cadre de pellicule rectangulaire (102) de l'ensemble pellicule (101) contre le masque d'exposition (100), par le biais de la surface de mise sous pression de pellicule (4a) du mécanisme de mise sous pression de pellicule, montant ainsi l'ensemble pellicule sur le masque d'exposition. Une plaque de mise sous pression de pellicule (4) comportant une surface de mise sous pression de pellicule (4a) et un élément (8) destiné à transmettre une force de mise sous pression, par le biais du mécanisme d'entraînement, à la plaque de mise sous pression de pellicule (4) est fournie et une feuille d'amortissement (31) est intercalée entre la plaque de mise sous pression de pellicule (4) et l'élément de transmission (8). Par exemple, un élément en forme de courroie tel qu'un ruban en caoutchouc de silicone ayant un faible module de Young est de p