ELECTRON OPTICAL APPARATUS, X-RAY EMITTING DEVICE AND METHOD OF PRODUCING AN ELECTRON BEAM

It is described an electron optical arrangement, a X-ray emitting device and a method of creating an electron beam. An electron optical apparatus (1) comprises the following components along an optical axis (25): a cathode with an emitter (3) having a substantially planar surface (9) for emitting electrons; an anode (11) for accelerating the emitted electrons in a direction essentially along the optical axis (25); a first magnetic quadrupole lens (19) for deflecting the accelerated electrons and having a first yoke(41); a second magnetic quadrupole lens (21) for further deflecting the accelerated electrons and having a second yoke(51); and a magnetic dipole lens (23) for further deflecting the accelerated electrons. La présente invention concerne un appareil optique électronique, un dispositif émetteur de rayons X et un procédé de production de faisceau électronique. L'appareil optique électronique (1) comprend les composants suivants, le long d'un axe optique (25) : une cathode avec un émetteur (3) qui présente une surface sensiblement plane (9) pour émettre des électrons; une anode (11) conçue pour accélérer les électrons émis dans une direction orientée sensiblement le long de l'axe optique (25); une première lentille à quadripôle magnétique (19) conçue pour dévier les électrons accélérés et présentant un premier collier de déviation (41); une seconde lentille à quadripôle magnétique (21) conçue pour dévier également les électrons accélérés et présentant un second collier de déviation (51); ainsi qu'une lentille à dipôle magnétique (23) conçue pour dévier également les électrons accélérés.