METHOD AND APPARATUS FOR THE SPATIALLY RESOLVED DETERMINATION OF THE PHASE AND AMPLITUDE OF THE ELECTROMAGNETIC FIELD IN THE IMAGE PLANE OF AN IMAGE OF AN OBJECT

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur ortsaufgelösten Bestimmung der Phase und Amplitude des elektromagnetischen Feldes in der Bildebene einer Abbildung eines Objekts. Dabei werden Bilder erzeugt, indem das Objekt mit kohärentem Licht beleuchtet und in eine Bildebene abgebildet wird, Licht in der Bildebene ortsaufgelöst in Pixeln detektiert wird, wobei für jedes Pixel die Intensität des Lichtes bestimmt, in Bildpunkten gespeichert und die Bildpunkte einem Bild zugeordnet werden. Es wird zunächst ein erstes und dann mindestens ein weiteres Bild erzeugt, wobei die Phase und/oder die Amplitude des Lichts in vorgegebener Weise modifiziert wird und sich die Modifikation für ein jedes Bild von denen für die übrigen Bilder unterscheidet. Aus den erzeugten Bildern wird ortsaufgelöst die Phase in der Abbildung des Objekts in der Bildebene bestimmt. Die Erfindung betrifft auch eine Vorrichtung zur Umsetzung des Verfahrens. Bei einem solchen Verfahren wird die Phase und/oder die Amplitude des Lichts durch eine Ortsfrequenzfilterung in einer Pupillenebene zwischen Objekt und Bildebene modifiziert. The invention relates to a method for the spatially resolved determination of the phase and amplitude of the electromagnetic field in the image plane of an image of an object. Here, images are produced by virtue of the fact that the object is illuminated using coherent light and is imaged into an image plane, light is detected in the image plane in a spatially resolved manner in pixels, wherein for each pixel the intensity of the light is determined, stored in image points and the image points are assigned to an image. First, a first then at least one further image are produced, wherein the phase and/or the amplitude of the light is modified in a predefined manner and the modification for each image differs from those for the other images. The phase in the image of the object in the image plane is determined in a spatially resolved manner from the images produced. The invention also relates to an apparatus for implementing the method. In such a method, the phase and/or the amplitude of the light is/are modified by a spatial frequency filtering in a pupil plane between object and image plane. L'invention concerne un procédé de détermination à résolution locale de la phase et de l'amplitude d'un champ électromagnétique dans le plan d'image d'une représentation d'un objet. Des images sont ici produites en éclairant l'objet avec une lumière cohérente et en le représentant dan