SYSTEMS AND METHODS FOR OPERATING AND MONITORING ABATEMENT SYSTEMS

SYSTEMS AND METHODS FOR OPERATING AND MONITORING ABATEMENT SYSTEMS

Methods and systems are provided for abating effluent from a process tool. The invention includes one or more process tools; one or more abatement systems; and an interface manifold adapted to establish effluent fluid communication between the one or more process tools and the one or more abatement...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: CRAWFORD, SHAUN, W, LOLDJ, YOUSSEF, A
Format: Patent
Sprache:eng ; fre
Schlagworte:
PERFORMING OPERATIONS
PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
SEPARATION
TRANSPORTING
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creator CRAWFORD, SHAUN, W
LOLDJ, YOUSSEF, A
description Methods and systems are provided for abating effluent from a process tool. The invention includes one or more process tools; one or more abatement systems; and an interface manifold adapted to establish effluent fluid communication between the one or more process tools and the one or more abatement systems, wherein the interface manifold is configured to selectively direct one or more effluents from between the one or more process tools to the one or more abatement systems in response to a control signal. Numerous other aspects are provided. L'invention concerne des procédés et des systèmes permettant de rendre moins nocifs les effluents émanant d'un outil de traitement. L'invention comprend un ou plusieurs outils de traitement; un ou plusieurs systèmes d'épuration; et un collecteur-interface conçu pour établir un circuit d'écoulement d'effluent entre le ou les outils de traitement et le ou les systèmes d'épuration. Le collecteur-interface est conçu pour diriger, de manière sélective, un ou plusieurs effluents d'un ou plusieurs des outils de traitement vers un ou plusieurs des systèmes d'épuration, en réponse à un signal de commande. De nombreux autres aspects sont également abordés par la présente invention.
format Patent
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