METHOD AND APPARATUS FOR SIMULTANEOUS DETECTION AND MEASUREMENT OF CHARGED PARTICLES AT ONE OR MORE LEVELS OF PARTICLE FLUX FOR ANALYSIS OF SAME

A charged particle detector and method are disclosed providing for simultaneous detection and measurement of charged particles at one or more levels of particle flux in a measurement cycle. The detector provides multiple and independently selectable levels of integration and/or gain in a fully addre...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	SPERLINE, ROGER, BARINAGA, CHARLES J, BARNES, JAMES H. IV, DENTON, BONNER M, ATLAS, EUGENE, KOPPENAAL, DAVID W, HIEFTJE, GARY
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS ELECTRICITY
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Beschreibung
Zusammenfassung:	A charged particle detector and method are disclosed providing for simultaneous detection and measurement of charged particles at one or more levels of particle flux in a measurement cycle. The detector provides multiple and independently selectable levels of integration and/or gain in a fully addressable readout manner. La présente invention concerne un détecteur de particules chargées et un procédé permettant d'effectuer une détection et une mesure simultanées de particules chargées à un ou plusieurs niveaux de flux de particules dans un cycle de mesure. Le détecteur fournit de multiples niveaux d'intégration et/ou de gain indépendamment sélectionnable d'une manière entièrement adressable en lecture.