EPOXY FORMULATIONS FOR USE IN LITHOGRAPHY TECHNIQUES

A method for preparing a patterned feature includes the steps of I) casting a curable silicone composition against a master, II) curing the curable silicone composition to form a silicone mold, II) separating the master and the silicone mold, IV) filling a silicone mold having a patterned surface wi...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	MAGHSOODI, SINA, TONGE, JAMES, STEVEN, HARKNESS, BRIAN, ROBERT, CHEN, WEI
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre
Schlagworte:	AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR CHEMISTRY CINEMATOGRAPHY COMPOSITIONS BASED THEREON ELECTROGRAPHY HOLOGRAPHY MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONSONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES MATERIALS THEREFOR MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES METALLURGY NANOTECHNOLOGY ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS ORIGINALS THEREFOR PERFORMING OPERATIONS PHOTOGRAPHY PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES PHYSICS SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDEDFOR SHAPING OR JOINING OF PLASTICS SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP TRANSPORTING WORKING OF PLASTICS WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE, IN GENERAL
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Beschreibung
Zusammenfassung:	A method for preparing a patterned feature includes the steps of I) casting a curable silicone composition against a master, II) curing the curable silicone composition to form a silicone mold, II) separating the master and the silicone mold, IV) filling a silicone mold having a patterned surface with a curable epoxy formulation; V) curing the curable epoxy formulation to form a patterned feature; VI) separating the silicone mold and the patterned feature; optionally VIII) etching the patterned feature; optionally IX) cleaning the silicone mold; and optionally X) repeating steps IV) to IX) reusing the silicone mold. L'invention concerne un procédé pour préparer un élément à motif qui consiste I) à faire couler une composition de silicone durcissable sur un modèle, II) à faire durcir la composition de silicone durcissable pour former un moule de silicone, II) à séparer le modèle du moule de silicone, IV) à remplir un moule de silicone présentant une surface à motif avec une formulation de résine époxyde durcissable, V) à faire durcir cette formulation de résine époxyde durcissable pour former un élément à motif, VI) à séparer le moule de silicone de l'élément à motif, éventuellement VIII) à graver l'élément à motif, éventuellement IX) à nettoyer le moule de silicone et éventuellement X) à répéter les étapes IV) à IX) en réutilisant ce moule de silicone.