ENHANCED RAPID THERMAL PROCESSING APPARATUS AND METHOD

A heating arrangement heats a first major surface of a workpiece with an illumination energy such that a first portion of the illumination energy is directly incident upon the first major surface of the workpiece and a second portion of the illumination energy is directed such that, at least initial...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: DETS, SERGIY, MCCOY, STEVE, KRASNICH, MIKE, CAMM, DAVE, BUBULOVIC, MLADEN
Format: Patent
Sprache:eng ; fre
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Beschreibung
Zusammenfassung:A heating arrangement heats a first major surface of a workpiece with an illumination energy such that a first portion of the illumination energy is directly incident upon the first major surface of the workpiece and a second portion of the illumination energy is directed such that, at least initially, the second portion would miss the first major surface. A reflector, having a central opening, reflects at least some of the second portion of the illumination energy onto the peripheral edge region of the workpiece for preheating compensation. The reflector is configured for shadow-free exposure of a second, opposing major surface of the workpiece to a flash heating energy. A workpiece manipulation arrangement is described to provide for dynamic preheating movement to vary a heating profile across the workpiece and, thereafter, move the workpiece to a flash heating position. Automatic workpiece centering is featured by the manipulation arrangement. Un agencement de chauffage chauffe une première surface principale d'une pièce d'usinage avec une énergie d'éclairage, de telle sorte qu'une première portion de l'énergie d'éclairage est directment incidente sur la première surface principale de la pièce d'usinage et qu'une seconde portion de l'énergie d'éclairage est dirigée de telle sorte que, au moins initialement, la seconde portion manquerait la première surface principale. Un réflecteur, doté d'une ouverture centrale, réfléchit au moins une partie de la seconde portion de l'énergie d'éclairage sur la zone de tranche périphérique de la pièce d'usinage pour compenser le préchauffage. Le réflecteur est configuré pour une exposition sans ombre d'une seconde surface principale opposée de la pièce d'usinage à une énergie de chauffage par recuit. L'invention concerne aussi un agencement de manipulation de pièce d'usinage devant assurer un mouvement de préchauffage dynamique afin de modifier un profil de chauffage de part et d'autre de la pièce d'usinage et, ensuite, déplacer la pièce d'usinage vers une position de chauffage par recuit. Le centrage automatique de la pièce d'usinage est assuré par l'agencement de manipulation.