MICRO-ELECTRO MECHANICAL LIGHT MODULATOR DEVICE
A micro-electro mechanical light modulator device (200, 200-1, 200-2, 710-1, 710-2, 200-3) includes a movable reflective plate (205, 205-2), a fixed partial reflective plate, an optical gap (225, 225-1, 225-2) defined between the reflective plate (205, 205-2) and the fixed plate, and an actuator con...
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Hauptverfasser: | , |
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; fre |
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