VAPOR PHASE TREATMENT OF DIELECTRIC MATERIALS

The invention concerns a method for applying a surface modification agent composition for organosilicat L'invention concerne un procédé consistant à appliquer une composition d

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: BHANAP, ANIL, S, DANIELS, BRIAN, J, ENDISCH, DENIS, H, BURNHAM, KIKUE, S, GOLECKI, ILAN, ROTH, ROBERT, R
Format: Patent
Sprache:eng ; fre
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Beschreibung
Zusammenfassung:The invention concerns a method for applying a surface modification agent composition for organosilicat L'invention concerne un procédé consistant à appliquer une composition d