COMPOSITE REFRACTORY METAL CARBIDE COATING ON A SUBSTRATE AND METHOD FOR MAKING THEREOF

A composite coating for use on semi-conductor processing components, comprising a refractory metal carbide coating with its surface modified by at least one of: a) a carbon donor source for a stabilized stoichiometry, and b) a layer of nitride, carbonitride or oxynitride of elements selected from a group B, Al, Si, refractory metals, transition metals, rare earth metals which may or may not contain electrically conducting pattern, and wherein the metal carbide is selected from the group consisting of silicon carbide, tantalum carbide, titanium carbide, tungsten carbide, silicon oxycarbide, zirconium carbide, hafnium carbide, lanthanum carbide, vanadium carbide, niobium carbide, magnesium carbide, chromium carbide, molybdenum carbide, beryllium carbide and mixtures thereof. The composite coating is characterized as having an improved corrosion resistance property and little emissivity sensitivity to wavelengths used in optical pyrometry under the normal semi-conductor processing environments. L'invention concerne un revêtement composite destiné à être utilisé sur des composants de traitement à semi-conducteurs, comprenant un revêtement de carbure métallique réfractaire présentant une surface modifiée par au moins : a) une source donneur de carbone pour une stoechiométrie stabilisée, et b) une couche de nitrure, de carbonitrure ou d'oxynitrure d'éléments sélectionnés parmi un groupe B, Al, Si, de réfractaires métalliques, de métaux de transition, de métaux de terres rares, qui peuvent contenir ou non des modèles électroconducteurs. Le carbure métallique est sélectionné dans le groupe constitué de carbure de silicium, de carbure de tantale, de carbure de titane, de carbure de tungstène, d'oxycarbure de silicium, de carbure de zircon, de carbure de lanthane, de carbure de vanadium, de carbure de béryllium et leurs mélanges. Le revêtement composite est caractérisé en ce qu'il présente une propriété de résistance améliorée à la corrosion et une faible sensibilité à l'émissivité aux longueurs d'onde utilisées en pyrométrie optique dans des environnements de traitement de semi-conducteurs normaux.