METHOD AND APPARATUS FOR MANUFACTURING POLYGON SHAPED CHIPS

In a first aspect, an inventive apparatus for imaging a chip on a wafer includes a combined diamond chip image and kerf image having a plurality of sloped sides. The combined diamond chip image and kerf image includes a diamond chip image comprising a plurality of chip image rows that are parallel t...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	WEMPLE, IVAN, LEE, ALLEN, ROBERT, JOHN, HABITZ, PETER, ANTON, TELLEZ, GUSTAVO, ENRIQUE, COHN, JOHN, MAXWELL, GOULD, SCOTT, WHITNEY, KOEHL, JUERGEN, ZUCHOWSKI, PAUL, STEVEN
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre
Schlagworte:	APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR BASIC ELECTRIC ELEMENTS CALCULATING CINEMATOGRAPHY COMPUTING COUNTING ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY ELECTROGRAPHY HANDLING RECORD CARRIERS HOLOGRAPHY MATERIALS THEREFOR ORIGINALS THEREFOR PHOTOGRAPHY PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES PHYSICS PRESENTATION OF DATA RECOGNITION OF DATA RECORD CARRIERS SEMICONDUCTOR DEVICES
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Beschreibung
Zusammenfassung:	In a first aspect, an inventive apparatus for imaging a chip on a wafer includes a combined diamond chip image and kerf image having a plurality of sloped sides. The combined diamond chip image and kerf image includes a diamond chip image comprising a plurality of chip image rows that are parallel to at least one diagonal of the diamond chip image, and includes a kerf image adjacent to the diamond chip image. The kerf image comprises at least one kerf image row that is parallel to the at least one diagonal of the diamond chip image. The apparatus further includes a blocking material extending from the combined diamond chip image and kerf image to at least a periphery of an exposure field of a stepper. In a second aspect the imaging apparatus comprises an n-sided polygon-shaped combined chip image and kerf image. Also provided are inventive methods of manufacturing chips, and wafers manufactured in accordance with the inventive methods. La présente invention concerne d'abord un appareil servant à produire l'image d'un microcircuit sur une plaquette. L'appareil comprend une combinaison d'une image de microcircuit en diamant et une image en entaille présentant une pluralité de facettes inclinées. La combinaison d'image de microcircuit en diamant et d'image en entaille inclut une image de microcircuit en diamant comprenant une pluralité de rangées d'images de microcircuit qui sont parallèles au moins avec une diagonale de l'image de microcircuit en diamant, et inclut une image en entaille adjacente de l'image de microcircuit en diamant. L'image en entaille comprend au moins une rangée d'images en entaille qui est parallèle à la diagonale considérée de l'image de microcircuit en diamant. L'appareil comprend également un matériau de blocage allant de la combinaison d'image de microcircuit en diamant et d'image en entaille à au moins un pourtour d'une zone dégagée dans un masque. L'invention concerne également un générateur d'image comprenant une combinaison polygonale à n côtés d'une image de microcircuit et d'une image en entaille. L'invention concerne enfin des procédés pour la fabrication de microcircuits et des microcircuits fabriqués selon les procédés de l'invention.