ACHROMATIC SPECTROSCOPIC ELLIPSOMETER WITH HIGH SPATIAL RESOLUTION
The invention concerns an achromatic spectroscopic ellipsometer for analysing small regions of a sample (1) over a wide range of wavelengths from ultraviolet (UV) to infrared (IR). The spectroscopic ellipsometer contains a light source (2) emitting a light beam (3). The light beam (3) goes through a...
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| Format: | Patent |
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| creator | BENFERHAT, RAMDANE AMARY, PASCAL CATTELAN, DENIS BOS, FRANCIS |
| description | The invention concerns an achromatic spectroscopic ellipsometer for analysing small regions of a sample (1) over a wide range of wavelengths from ultraviolet (UV) to infrared (IR). The spectroscopic ellipsometer contains a light source (2) emitting a light beam (3). The light beam (3) goes through a polarisation state generator section (4) before being focused at an incidence angle q by a first parabolic mirror (5) to a small spot on sample (1). A second parabolic mirror (6) collects the reflected beam (16) and connects said beam to an analysing section (7). The reflected beam (16) emerges from the analysing section (7) to go to means (8) for detecting and analysing a spectroscopically said beam. According to the invention, the light beam (3) through the polarisation state generator section (4) up to the first parabolic mirror (5) and the light beam from the second mirror (6) through the analysing section (7) are parallel enabling achromatism. The incidence angle q is largely varied without shifting of the location of the small spot on the sample surface.
Ellipsomètre spectroscopique achromatique pour l'analyse de petites régions d'un échantillon (1) sur une large plage de longueurs d'ondes de l'ultraviolet (UV) à l'infrarouge (IR). Ledit ellipsomètre spectroscopique contient une source de lumière (2) émettant un faisceau (3) de lumière. Le faisceau (3) de lumière passe à travers une partie génératrice d'état de polarisation (4) avant d'être concentré à un angle d'incidence theta par un premier miroir parabolique (5) en un petit point sur un échantillon (1). Un second miroir parabolique (6) renvoie le faisceau réfléchi (16) et connecte ce faisceau à une partie d'analyse (7). Le faisceau réfléchi (16) sort de la partie d'analyse (7) pour se diriger vers des moyens (8) destinés à détecter et à analyser ledit faisceau de manière spectroscopique. Selon la présente invention, le faisceau (3) de lumière traversant la partie génératrice d'état de polarisation (4) jusqu'au premier miroir parabolique (5) et le faisceau de lumière partant du second miroir parabolique (6) et traversant la partie d'analyse (7) sont parallèles, ce qui permet l'achromatisme. L'angle d'incidence theta varie largement, sans qu'il y ait décalage du lieu du petit point sur la surface de l'échantillon. |
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Ellipsomètre spectroscopique achromatique pour l'analyse de petites régions d'un échantillon (1) sur une large plage de longueurs d'ondes de l'ultraviolet (UV) à l'infrarouge (IR). Ledit ellipsomètre spectroscopique contient une source de lumière (2) émettant un faisceau (3) de lumière. Le faisceau (3) de lumière passe à travers une partie génératrice d'état de polarisation (4) avant d'être concentré à un angle d'incidence theta par un premier miroir parabolique (5) en un petit point sur un échantillon (1). Un second miroir parabolique (6) renvoie le faisceau réfléchi (16) et connecte ce faisceau à une partie d'analyse (7). Le faisceau réfléchi (16) sort de la partie d'analyse (7) pour se diriger vers des moyens (8) destinés à détecter et à analyser ledit faisceau de manière spectroscopique. Selon la présente invention, le faisceau (3) de lumière traversant la partie génératrice d'état de polarisation (4) jusqu'au premier miroir parabolique (5) et le faisceau de lumière partant du second miroir parabolique (6) et traversant la partie d'analyse (7) sont parallèles, ce qui permet l'achromatisme. L'angle d'incidence theta varie largement, sans qu'il y ait décalage du lieu du petit point sur la surface de l'échantillon.</description><edition>7</edition><language>eng ; fre</language><subject>COLORIMETRY ; INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES ; MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT,POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED,VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT ; MEASURING ; PHYSICS ; RADIATION PYROMETRY ; TESTING</subject><creationdate>2003</creationdate><oa>free_for_read</oa><woscitedreferencessubscribed>false</woscitedreferencessubscribed></display><links><openurl>$$Topenurl_article</openurl><openurlfulltext>$$Topenurlfull_article</openurlfulltext><thumbnail>$$Tsyndetics_thumb_exl</thumbnail><linktohtml>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&date=20031224&DB=EPODOC&CC=WO&NR=03106979A1$$EHTML$$P50$$Gepo$$Hfree_for_read</linktohtml><link.rule.ids>230,308,780,885,25564,76547</link.rule.ids><linktorsrc>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&date=20031224&DB=EPODOC&CC=WO&NR=03106979A1$$EView_record_in_European_Patent_Office$$FView_record_in_$$GEuropean_Patent_Office$$Hfree_for_read</linktorsrc></links><search><creatorcontrib>BENFERHAT, RAMDANE</creatorcontrib><creatorcontrib>AMARY, PASCAL</creatorcontrib><creatorcontrib>CATTELAN, DENIS</creatorcontrib><creatorcontrib>BOS, FRANCIS</creatorcontrib><title>ACHROMATIC SPECTROSCOPIC ELLIPSOMETER WITH HIGH SPATIAL RESOLUTION</title><description>The invention concerns an achromatic spectroscopic ellipsometer for analysing small regions of a sample (1) over a wide range of wavelengths from ultraviolet (UV) to infrared (IR). The spectroscopic ellipsometer contains a light source (2) emitting a light beam (3). The light beam (3) goes through a polarisation state generator section (4) before being focused at an incidence angle q by a first parabolic mirror (5) to a small spot on sample (1). A second parabolic mirror (6) collects the reflected beam (16) and connects said beam to an analysing section (7). The reflected beam (16) emerges from the analysing section (7) to go to means (8) for detecting and analysing a spectroscopically said beam. According to the invention, the light beam (3) through the polarisation state generator section (4) up to the first parabolic mirror (5) and the light beam from the second mirror (6) through the analysing section (7) are parallel enabling achromatism. The incidence angle q is largely varied without shifting of the location of the small spot on the sample surface.
Ellipsomètre spectroscopique achromatique pour l'analyse de petites régions d'un échantillon (1) sur une large plage de longueurs d'ondes de l'ultraviolet (UV) à l'infrarouge (IR). Ledit ellipsomètre spectroscopique contient une source de lumière (2) émettant un faisceau (3) de lumière. Le faisceau (3) de lumière passe à travers une partie génératrice d'état de polarisation (4) avant d'être concentré à un angle d'incidence theta par un premier miroir parabolique (5) en un petit point sur un échantillon (1). Un second miroir parabolique (6) renvoie le faisceau réfléchi (16) et connecte ce faisceau à une partie d'analyse (7). Le faisceau réfléchi (16) sort de la partie d'analyse (7) pour se diriger vers des moyens (8) destinés à détecter et à analyser ledit faisceau de manière spectroscopique. Selon la présente invention, le faisceau (3) de lumière traversant la partie génératrice d'état de polarisation (4) jusqu'au premier miroir parabolique (5) et le faisceau de lumière partant du second miroir parabolique (6) et traversant la partie d'analyse (7) sont parallèles, ce qui permet l'achromatisme. L'angle d'incidence theta varie largement, sans qu'il y ait décalage du lieu du petit point sur la surface de l'échantillon.</description><subject>COLORIMETRY</subject><subject>INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES</subject><subject>MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT,POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED,VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT</subject><subject>MEASURING</subject><subject>PHYSICS</subject><subject>RADIATION PYROMETRY</subject><subject>TESTING</subject><fulltext>true</fulltext><rsrctype>patent</rsrctype><creationdate>2003</creationdate><recordtype>patent</recordtype><sourceid>EVB</sourceid><recordid>eNrjZHBydPYI8vd1DPF0VggOcHUOCfIPdvYPAPJcfXw8A4L9fV1DXIMUwj1DPBQ8PN09gIqAah19FIJcg_19QkM8_f14GFjTEnOKU3mhNDeDoptriLOHbmpBfnxqcUFicmpeakl8uL-BsaGBmaW5paOhMTFqAET0K-o</recordid><startdate>20031224</startdate><enddate>20031224</enddate><creator>BENFERHAT, RAMDANE</creator><creator>AMARY, PASCAL</creator><creator>CATTELAN, DENIS</creator><creator>BOS, FRANCIS</creator><scope>EVB</scope></search><sort><creationdate>20031224</creationdate><title>ACHROMATIC SPECTROSCOPIC ELLIPSOMETER WITH HIGH SPATIAL RESOLUTION</title><author>BENFERHAT, RAMDANE ; AMARY, PASCAL ; CATTELAN, DENIS ; BOS, FRANCIS</author></sort><facets><frbrtype>5</frbrtype><frbrgroupid>cdi_FETCH-epo_espacenet_WO03106979A13</frbrgroupid><rsrctype>patents</rsrctype><prefilter>patents</prefilter><language>eng ; fre</language><creationdate>2003</creationdate><topic>COLORIMETRY</topic><topic>INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES</topic><topic>MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT,POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED,VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT</topic><topic>MEASURING</topic><topic>PHYSICS</topic><topic>RADIATION PYROMETRY</topic><topic>TESTING</topic><toplevel>online_resources</toplevel><creatorcontrib>BENFERHAT, RAMDANE</creatorcontrib><creatorcontrib>AMARY, PASCAL</creatorcontrib><creatorcontrib>CATTELAN, DENIS</creatorcontrib><creatorcontrib>BOS, FRANCIS</creatorcontrib><collection>esp@cenet</collection></facets><delivery><delcategory>Remote Search Resource</delcategory><fulltext>fulltext_linktorsrc</fulltext></delivery><addata><au>BENFERHAT, RAMDANE</au><au>AMARY, PASCAL</au><au>CATTELAN, DENIS</au><au>BOS, FRANCIS</au><format>patent</format><genre>patent</genre><ristype>GEN</ristype><title>ACHROMATIC SPECTROSCOPIC ELLIPSOMETER WITH HIGH SPATIAL RESOLUTION</title><date>2003-12-24</date><risdate>2003</risdate><abstract>The invention concerns an achromatic spectroscopic ellipsometer for analysing small regions of a sample (1) over a wide range of wavelengths from ultraviolet (UV) to infrared (IR). The spectroscopic ellipsometer contains a light source (2) emitting a light beam (3). The light beam (3) goes through a polarisation state generator section (4) before being focused at an incidence angle q by a first parabolic mirror (5) to a small spot on sample (1). A second parabolic mirror (6) collects the reflected beam (16) and connects said beam to an analysing section (7). The reflected beam (16) emerges from the analysing section (7) to go to means (8) for detecting and analysing a spectroscopically said beam. According to the invention, the light beam (3) through the polarisation state generator section (4) up to the first parabolic mirror (5) and the light beam from the second mirror (6) through the analysing section (7) are parallel enabling achromatism. The incidence angle q is largely varied without shifting of the location of the small spot on the sample surface.
Ellipsomètre spectroscopique achromatique pour l'analyse de petites régions d'un échantillon (1) sur une large plage de longueurs d'ondes de l'ultraviolet (UV) à l'infrarouge (IR). Ledit ellipsomètre spectroscopique contient une source de lumière (2) émettant un faisceau (3) de lumière. Le faisceau (3) de lumière passe à travers une partie génératrice d'état de polarisation (4) avant d'être concentré à un angle d'incidence theta par un premier miroir parabolique (5) en un petit point sur un échantillon (1). Un second miroir parabolique (6) renvoie le faisceau réfléchi (16) et connecte ce faisceau à une partie d'analyse (7). Le faisceau réfléchi (16) sort de la partie d'analyse (7) pour se diriger vers des moyens (8) destinés à détecter et à analyser ledit faisceau de manière spectroscopique. Selon la présente invention, le faisceau (3) de lumière traversant la partie génératrice d'état de polarisation (4) jusqu'au premier miroir parabolique (5) et le faisceau de lumière partant du second miroir parabolique (6) et traversant la partie d'analyse (7) sont parallèles, ce qui permet l'achromatisme. L'angle d'incidence theta varie largement, sans qu'il y ait décalage du lieu du petit point sur la surface de l'échantillon.</abstract><edition>7</edition><oa>free_for_read</oa></addata></record> |
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