FABRICATION OF AN ALIGNMENT MICROSTRUCTURE IN AN OPTICAL ASSEMBLY

This invention relates to the assembly of optical microsystems by passive alignment techniques. A technique is described for the fabrication of optimised structural elements with rounded edges continuous-relief for providing means for integration with active or passive micro-optical elements, optical fibres or with other microsystem components. The use of replication technology for producing the microstructures on individual devices or on complete wafers allows production in high volume and at a low cost per piece. The shape of the microstructures offers similar functionality for alignment purposes as etched silicon V-grooves, but the fabrication process gives more degrees of freedom for the layout design. A particular feature is the possibility to fabricate circular alignment grooves for the vertical alignment of optical fibres to Vertical Cavity VCSEL laser structures. Cette invention porte sur l'assemblage de micro-systèmes optiques pat des techniques d'alignement passif. La technique décrite consiste à fabriquer des éléments structuraux optimisés aux bords arrondis (relief continu) de façon à former un dispositif d'intégration à éléments micro-optiques actifs ou passifs, à fibres optiques ou à d'autres composants de micro-système. L'utilisation d'une technique de réplique pour produire les microstructures sur des dispositifs individuels ou sur des plaquettes complètes permet de produire en gros volumes et à faible coût unitaire. La forme des microstructures offre une fonctionnalité similaire à des fins d'alignement telles que des gorges en V de silicium gravées, mais le processus de fabrication offre davantage de degrés de liberté pour la conception de l'implantation. Une caractéristique particulière est de pouvoir fabriquer des gorges en alignement circulaire pour obtenir un alignement vertical des fibres optiques par rapport aux structures laser à cavité verticale émettant par la surface (VCSEL).