METHOD FOR PRODUCING AN OPTICAL WAVEGUIDE DEVICE

The inventive method for producing an optical waveguide device consists in forming a layer of transparent material on a carrier which capable of modifying the optical properties thereof when it is radiation-induced, radiating said layer in a predetermined path or with the aid of a template or a mask. The radiation processing of said layer is carried out by means of a particle beam. The particles are selected and accelerated in such a way that each particle when interacting with the layer material has a mass and energy sufficient for modifying the optical properties of the material through the thickness of the irradiated area and increasing the absorption factor and/or the reflection index thereof. As a result of the irradiation, the areas having modified optical properties with respect to the initial properties are formed in the layer, thereby producing a targeted device provided with optical channels. Said optical channels are embodied in non-irradiated areas of the layer which retain the initial transparency of the material. The layer of the transparent material on the carrier is formed with a thickness which is equal to or higher than the length of a projective path of said accelerated particles. Le procédé de fabrication d'un dispositif à guide d'ondes optique consiste à former sur un substrat une couche de matériau transparent et capable de modifier, sous l'effet d'irradiation par la lumière, ses propriétés optiques, puis à irradier optiquement cette couche en suivant une trajectoire prédéterminée ou en passant à travers un masque. L'irradiation de ladite couche est effectuée au moyen d'un faisceau de particules, sélectionnées et accélérées de manière à ce que chaque particule interagissant avec le matériau de la couche possède une masse et une énergie suffisantes pour transformer les propriétés optiques du matériau sur toute l'épaisseur de la partie irradiée, de manière à augmenter son coefficient d'absorption et/ou de réflexion. L'irradiation permet de former dans la couche des zones dont les propriétés optiques ont été modifiées par rapport aux propriétés initiales. Pour obtenir le dispositif final, qui comprend des canaux conducteurs de lumière selon l'invention, on utilise ledit matériau en tant que matériau de la couche, et l'on forme les canaux conducteurs de lumière dans les zones non irradiées de la couche. Dans chacune des zones, on garde la transparence initiale du matériau, et l'on forme sur le substrat une couche dont l'épaisseur est égal