LIGHTING SYSTEM WITH A PLURALITY OF INDIVIDUAL GRIDS

Die Erfindung betrifft ein Beleuchtungssystem für Wellenlängen 100 nm mit einer Objektebene und einer Feldebene. Die Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, dass das Beleuchtungssystem umfasst: mindestens ein Gitterelement (1), das eine Vielzahl von Einzelgittern (9) aufweist mindestens einer physikal...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	OSTERRIED, KARLFRIED, KLEEMANN, BERND, HEISLER, ANDREAS, MELZER, FRANK, WEISS, MARKUS, SINGER, WOLFGANG, WANGLER, JOHANNES, BANINE, VADIM, YEVGENYEVICH
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre ; ger
Schlagworte:	APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR BASIC ELECTRIC ELEMENTS CINEMATOGRAPHY ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY ELECTROGRAPHY GAMMA RAY OR X-RAY MICROSCOPES HOLOGRAPHY IRRADIATION DEVICES MATERIALS THEREFOR NUCLEAR ENGINEERING NUCLEAR PHYSICS OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS OPTICS ORIGINALS THEREFOR PHOTOGRAPHY PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES PHYSICS SEMICONDUCTOR DEVICES TECHNIQUES FOR HANDLING PARTICLES OR IONISING RADIATION NOTOTHERWISE PROVIDED FOR
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Die Erfindung betrifft ein Beleuchtungssystem für Wellenlängen 100 nm mit einer Objektebene und einer Feldebene. Die Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, dass das Beleuchtungssystem umfasst: mindestens ein Gitterelement (1), das eine Vielzahl von Einzelgittern (9) aufweist mindestens einer physikalischen Blende (7.3) in einer Blendenebene, die dem Gitterelement (1) im Strahlengang von der Objektebene zur Bildebene nachgeordnet ist. The invention relates to a lighting system for wavelengths of 100 nm having an object plane and a field plane. Said invention is characterized in that the lighting system comprises at least one grid element (1) having a plurality of individual grids (9), and at least one physical diaphragm (7.3) in a diaphragm plane, which is connected downstream of the grid element (1) in the optical path from the object plane to the image plane. L'invention concerne un système d'éclairage destiné à des longueurs d'ondes de 100 nm et pourvu d'un plan objet et d'un plan champ. L'invention est caractérisée en ce que le système d'éclairage comprend au moins un élément grille qui présente une pluralité de grilles individuelles ayant une période grille associé à la grille individuelle et au moins un diaphragme physique dans un plan diaphragme qui est placé en aval de l'élément grille dans le trajet du faisceau du plan objet vers le plan image.