INTEGRATED SUBSTRATE HANDLER HAVING PRE-ALIGNER AND STORAGE POD ACCESS MECHANISM
Access to the interior of a substrate storage pod (22) in which substrates such as semiconductor wafers (74) are stored is gained using an access device (20) provided within a micro environment enclosure (26). The access device has a telescoping enclosure door (21) which serves to control access to...
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| Hauptverfasser: | , |
|---|---|
| Format: | Patent |
| Sprache: | eng ; fre |
| Schlagworte: | |
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| creator | GENOV, MILA, M TODOROV, ALEX, D |
| description | Access to the interior of a substrate storage pod (22) in which substrates such as semiconductor wafers (74) are stored is gained using an access device (20) provided within a micro environment enclosure (26). The access device has a telescoping enclosure door (21) which serves to control access to the interior of the storage pod from the interior of the enclosure. A pre-aligner (70) is mounted to the enclosure door (21), and substrates are passed through the pre-aligner (70) as they are retrieved from the storage pod (22). The pre-aligner (70) detects and adjusts the orientation of the substrates as necessary for processing. The level of the pre-aligner (70) is incrementally adjusted to match that of a current substrate by incrementally adjusting the level of the enclosure door (21).
Dans cette invention, on accède à l'espace intérieur d'un conteneur de stockage (22) de substrats, tels que des tranches de semiconducteurs (74), à travers un dispositif d'accès (20) situé dans un boîtier à micro-environnement (26). Ce dispositif d'accès présente une porte de boîtier télescopique (21) qui contrôle l'accès à l'espace intérieur du conteneur de stockage depuis l'intérieur du boîtier. Un préaligneur (70) est monté sur la porte du boîtier (21). Les substrats passent par le préaligneur (70) au moment de leur extraction du conteneur de stockage (22). Le préaligneur (70) détecte et règle l'orientation des substrats selon les besoins du traitement. L'ajustement progressif de la porte du boîtier (21) permet d'ajuster progressivement le niveau du préaligneur (70) pour qu'il corresponde à celui du substrat actuel. |
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Dans cette invention, on accède à l'espace intérieur d'un conteneur de stockage (22) de substrats, tels que des tranches de semiconducteurs (74), à travers un dispositif d'accès (20) situé dans un boîtier à micro-environnement (26). Ce dispositif d'accès présente une porte de boîtier télescopique (21) qui contrôle l'accès à l'espace intérieur du conteneur de stockage depuis l'intérieur du boîtier. Un préaligneur (70) est monté sur la porte du boîtier (21). Les substrats passent par le préaligneur (70) au moment de leur extraction du conteneur de stockage (22). Le préaligneur (70) détecte et règle l'orientation des substrats selon les besoins du traitement. L'ajustement progressif de la porte du boîtier (21) permet d'ajuster progressivement le niveau du préaligneur (70) pour qu'il corresponde à celui du substrat actuel.</description><edition>7</edition><language>eng ; fre</language><subject>BASIC ELECTRIC ELEMENTS ; CONVEYING ; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ; ELECTRICITY ; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL ; PACKING ; PERFORMING OPERATIONS ; PNEUMATIC TUBE CONVEYORS ; SEMICONDUCTOR DEVICES ; SHOP CONVEYOR SYSTEMS ; STORING ; TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING ORTIPPING ; TRANSPORTING</subject><creationdate>2002</creationdate><oa>free_for_read</oa><woscitedreferencessubscribed>false</woscitedreferencessubscribed></display><links><openurl>$$Topenurl_article</openurl><openurlfulltext>$$Topenurlfull_article</openurlfulltext><thumbnail>$$Tsyndetics_thumb_exl</thumbnail><linktohtml>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&date=20021010&DB=EPODOC&CC=WO&NR=02079059A1$$EHTML$$P50$$Gepo$$Hfree_for_read</linktohtml><link.rule.ids>230,308,777,882,25545,76296</link.rule.ids><linktorsrc>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&date=20021010&DB=EPODOC&CC=WO&NR=02079059A1$$EView_record_in_European_Patent_Office$$FView_record_in_$$GEuropean_Patent_Office$$Hfree_for_read</linktorsrc></links><search><creatorcontrib>GENOV, MILA, M</creatorcontrib><creatorcontrib>TODOROV, ALEX, D</creatorcontrib><title>INTEGRATED SUBSTRATE HANDLER HAVING PRE-ALIGNER AND STORAGE POD ACCESS MECHANISM</title><description>Access to the interior of a substrate storage pod (22) in which substrates such as semiconductor wafers (74) are stored is gained using an access device (20) provided within a micro environment enclosure (26). The access device has a telescoping enclosure door (21) which serves to control access to the interior of the storage pod from the interior of the enclosure. A pre-aligner (70) is mounted to the enclosure door (21), and substrates are passed through the pre-aligner (70) as they are retrieved from the storage pod (22). The pre-aligner (70) detects and adjusts the orientation of the substrates as necessary for processing. The level of the pre-aligner (70) is incrementally adjusted to match that of a current substrate by incrementally adjusting the level of the enclosure door (21).
Dans cette invention, on accède à l'espace intérieur d'un conteneur de stockage (22) de substrats, tels que des tranches de semiconducteurs (74), à travers un dispositif d'accès (20) situé dans un boîtier à micro-environnement (26). Ce dispositif d'accès présente une porte de boîtier télescopique (21) qui contrôle l'accès à l'espace intérieur du conteneur de stockage depuis l'intérieur du boîtier. Un préaligneur (70) est monté sur la porte du boîtier (21). Les substrats passent par le préaligneur (70) au moment de leur extraction du conteneur de stockage (22). Le préaligneur (70) détecte et règle l'orientation des substrats selon les besoins du traitement. L'ajustement progressif de la porte du boîtier (21) permet d'ajuster progressivement le niveau du préaligneur (70) pour qu'il corresponde à celui du substrat actuel.</description><subject>BASIC ELECTRIC ELEMENTS</subject><subject>CONVEYING</subject><subject>ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR</subject><subject>ELECTRICITY</subject><subject>HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL</subject><subject>PACKING</subject><subject>PERFORMING OPERATIONS</subject><subject>PNEUMATIC TUBE CONVEYORS</subject><subject>SEMICONDUCTOR DEVICES</subject><subject>SHOP CONVEYOR SYSTEMS</subject><subject>STORING</subject><subject>TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING ORTIPPING</subject><subject>TRANSPORTING</subject><fulltext>true</fulltext><rsrctype>patent</rsrctype><creationdate>2002</creationdate><recordtype>patent</recordtype><sourceid>EVB</sourceid><recordid>eNrjZAjw9AtxdQ9yDHF1UQgOdQoOATEVPBz9XHxcg4B0mKefu0JAkKuuo4-nux9QCCijEBziH-To7qoQ4O-i4Ojs7BocrODr6gzU5Bnsy8PAmpaYU5zKC6W5GRTdXEOcPXRTC_LjU4sLEpNT81JL4sP9DYwMzC0NTC0dDY2JUQMAa5IvCg</recordid><startdate>20021010</startdate><enddate>20021010</enddate><creator>GENOV, MILA, M</creator><creator>TODOROV, ALEX, D</creator><scope>EVB</scope></search><sort><creationdate>20021010</creationdate><title>INTEGRATED SUBSTRATE HANDLER HAVING PRE-ALIGNER AND STORAGE POD ACCESS MECHANISM</title><author>GENOV, MILA, M ; TODOROV, ALEX, D</author></sort><facets><frbrtype>5</frbrtype><frbrgroupid>cdi_FETCH-epo_espacenet_WO02079059A13</frbrgroupid><rsrctype>patents</rsrctype><prefilter>patents</prefilter><language>eng ; fre</language><creationdate>2002</creationdate><topic>BASIC ELECTRIC ELEMENTS</topic><topic>CONVEYING</topic><topic>ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR</topic><topic>ELECTRICITY</topic><topic>HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL</topic><topic>PACKING</topic><topic>PERFORMING OPERATIONS</topic><topic>PNEUMATIC TUBE CONVEYORS</topic><topic>SEMICONDUCTOR DEVICES</topic><topic>SHOP CONVEYOR SYSTEMS</topic><topic>STORING</topic><topic>TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING ORTIPPING</topic><topic>TRANSPORTING</topic><toplevel>online_resources</toplevel><creatorcontrib>GENOV, MILA, M</creatorcontrib><creatorcontrib>TODOROV, ALEX, D</creatorcontrib><collection>esp@cenet</collection></facets><delivery><delcategory>Remote Search Resource</delcategory><fulltext>fulltext_linktorsrc</fulltext></delivery><addata><au>GENOV, MILA, M</au><au>TODOROV, ALEX, D</au><format>patent</format><genre>patent</genre><ristype>GEN</ristype><title>INTEGRATED SUBSTRATE HANDLER HAVING PRE-ALIGNER AND STORAGE POD ACCESS MECHANISM</title><date>2002-10-10</date><risdate>2002</risdate><abstract>Access to the interior of a substrate storage pod (22) in which substrates such as semiconductor wafers (74) are stored is gained using an access device (20) provided within a micro environment enclosure (26). The access device has a telescoping enclosure door (21) which serves to control access to the interior of the storage pod from the interior of the enclosure. A pre-aligner (70) is mounted to the enclosure door (21), and substrates are passed through the pre-aligner (70) as they are retrieved from the storage pod (22). The pre-aligner (70) detects and adjusts the orientation of the substrates as necessary for processing. The level of the pre-aligner (70) is incrementally adjusted to match that of a current substrate by incrementally adjusting the level of the enclosure door (21).
Dans cette invention, on accède à l'espace intérieur d'un conteneur de stockage (22) de substrats, tels que des tranches de semiconducteurs (74), à travers un dispositif d'accès (20) situé dans un boîtier à micro-environnement (26). Ce dispositif d'accès présente une porte de boîtier télescopique (21) qui contrôle l'accès à l'espace intérieur du conteneur de stockage depuis l'intérieur du boîtier. Un préaligneur (70) est monté sur la porte du boîtier (21). Les substrats passent par le préaligneur (70) au moment de leur extraction du conteneur de stockage (22). Le préaligneur (70) détecte et règle l'orientation des substrats selon les besoins du traitement. L'ajustement progressif de la porte du boîtier (21) permet d'ajuster progressivement le niveau du préaligneur (70) pour qu'il corresponde à celui du substrat actuel.</abstract><edition>7</edition><oa>free_for_read</oa></addata></record> |
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