METHOD FOR THE PURIFICATION OF HYDROGEN PEROXIDE SOLUTIONS

Die Erfindung betrifft ein neues chromatographisches Verfahren zur Aufreinigung von Wasserstoffperoxidlösungen, wodurch hochreine Lösungen erhalten werden, die in der Halbleitertechnik unter den derzeit hohen Reinheitsanforderungen einsetzbar sind. The invention relates to a novel chromatographic me...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	FREISSLER, KLAUS, DUSEMUND, CLAUS, NEUMANN, EWALD, HOSTALEK, MARTIN, OETER, DIETMAR
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre ; ger
Schlagworte:	CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOIDCHEMISTRY CHEMISTRY COMPOUNDS THEREOF INORGANIC CHEMISTRY METALLURGY NON-METALLIC ELEMENTS PERFORMING OPERATIONS PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL SEPARATION THEIR RELEVANT APPARATUS TRANSPORTING
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