METHOD FOR THE PURIFICATION OF HYDROGEN PEROXIDE SOLUTIONS

Die Erfindung betrifft ein neues chromatographisches Verfahren zur Aufreinigung von Wasserstoffperoxidlösungen, wodurch hochreine Lösungen erhalten werden, die in der Halbleitertechnik unter den derzeit hohen Reinheitsanforderungen einsetzbar sind. The invention relates to a novel chromatographic me...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	FREISSLER, KLAUS, DUSEMUND, CLAUS, NEUMANN, EWALD, HOSTALEK, MARTIN, OETER, DIETMAR
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre ; ger
Schlagworte:	CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOIDCHEMISTRY CHEMISTRY COMPOUNDS THEREOF INORGANIC CHEMISTRY METALLURGY NON-METALLIC ELEMENTS PERFORMING OPERATIONS PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL SEPARATION THEIR RELEVANT APPARATUS TRANSPORTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Die Erfindung betrifft ein neues chromatographisches Verfahren zur Aufreinigung von Wasserstoffperoxidlösungen, wodurch hochreine Lösungen erhalten werden, die in der Halbleitertechnik unter den derzeit hohen Reinheitsanforderungen einsetzbar sind. The invention relates to a novel chromatographic method for the purification of hydrogen peroxide solutions, which gives highly pure solutions which may be used in semiconductor technology, under the latest stringent purity conditions. L'invention concerne un nouveau procédé chromatographique pour la purification de solutions de peroxyde d'hydrogène. Grâce au procédé selon l'invention, on obtient des solutions très pures pouvant être utilisées dans la technologie des semi-conducteurs dans les conditions de pureté élevée actuellement requises.