MAGNETIC ELEMENT WITH INSULATING VEILS AND FABRICATING METHOD THEREOF

An improved and novel device and fabrication method for a magnetic element, and more particularly a magnetic element (10) including a first electrode (14), a second electrode (18) and a spacer layer (16). The first electrode (14) and the second electrode (18) include ferromagnetic layers (26 & 28). A spacer layer (16) is located between the ferromagnetic layer (26) of the first electrode (14) and the ferromagnetic layer (28) of the second electrode (16) for permitting tunneling current in a direction generally perpendicular to the ferromagnetic layers (26 & 28). The device includes insulative veils (34) characterized as electrically isolating the first electrode (14) and the second electrode (18), the insulative veils (34) including non-magnetic and insulating dielectric properties. Additionally disclosed is a method of fabricating the magnetic element (10) with insulative veils (34) that have been transformed from having conductive properties to insulative properties through oxygen plasma ashing techniques. L'invention porte sur un dispositif et un procédé de fabrication améliorés d'un élément magnétique (10) comprenant notamment une première électrode (14), une seconde électrode (18) et une couche d'espacement (16). La première électrode (14) et la seconde électrode (18) comprennent des couches ferromagnétiques (26 & 28). Une couche intercalaire (16) est formée entre la couche ferromagnétique (26) de la première électrode (14) et la couche ferromagnétique (28) de la seconde électrode (16) pour permettre le passage d'un courant tunnel dans un sens généralement perpendiculaire aux couches ferromagnétiques (26 & 28). Le dispositif comprend des voiles isolants (34) qui se caractérisent en ce qu'ils isolent électriquement la première électrode (14) et la seconde électrode (18), les voiles isolants (34) comprenant des propriétés diélectriques non magnétiques et isolantes. L'invention porte également sur un procédé de fabrication de l'élément magnétique (10) à voiles isolants (34) dont les propriétés conductrices ont été transformées en propriétés isolantes par des techniques de polissage humide au plasma et à l'oxygène.