METHOD AND DEVICE FOR INSPECTING OBJECTS

This invention relates to a method for contactless inspection of objects on a substrate, by means of an inspection device during relative motion between the substrate and the inspection device. The method comprises the steps of: generating a first image comprising object height information by illuminating at least a portion of the substrate comprising one or more objects by means of first radiation means and imaging at least one of said one or more objects illuminated by said first radiation means onto a two-dimensional matrix sensor means having a portionwise addressable matrix of pixel elements; generating a second image comprising object area information by illuminating at least a portion of the substrate comprising one or more objects by means of second radiation means and imaging at least one of said one or more objects illuminated by said second radiation means onto said sensor means; extracting the object height information, by means of said sensor means, from said first image; and extracting the object area information, by means of said sensor means, from said second image. The invention also relates to a device for performing the above method. L'invention concerne un procédé permettant une inspection sans contact d'objets placés sur un substrat, au moyen d'un dispositif d'inspection, pendant un mouvement relatif entre le substrat et le dispositif d'inspection. Ce procédé comprend les étapes suivantes : génération d'une première image comprenant une information relative à la hauteur de l'objet, obtenue par l'illumination d'au moins une portion du substrat portant un ou plusieurs objets au moyen d'une première source de rayonnement et formation d'une image d'au moins un des objets illuminés par cette première source de rayonnement sur des moyens capteurs à matrice bidimensionnelle comprenant une matrice de pixels adressable par portion ; génération d'une seconde image contenant une information relative à la surface de l'objet, obtenue par l'illumination d'au moins une portion du substrat portant un ou plusieurs objets, au moyen d'une seconde source de rayonnement, et formation d'une image d'au moins un de ces objets illuminés par la seconde source de rayonnement sur les moyens capteurs ; extraction de l'information relative à la hauteur de l'objet à partir de la première image, à l'aide des moyens capteurs ; extraction de l'information relative à la surface de l'objet à partir de la second image à l'aide des moyens capteurs. L'invention concerne éga