REACTION-BONDED SILICON NITRIDE-BASED MATERIALS AND METHOD FOR PRODUCING THE SAME
Reaktionsgebundene Werkstoffe auf Basis von Siliciumnitrid, die als kristalline Phasen Siliciumnitrid (Si3N4), Siliciumcarbid (SiC) und Siliciumoxynitrid (Si2N2O) enthalten, einen Phasenbestand an Silicium
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Format: | Patent |
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Zusammenfassung: | Reaktionsgebundene Werkstoffe auf Basis von Siliciumnitrid, die als kristalline Phasen Siliciumnitrid (Si3N4), Siliciumcarbid (SiC) und Siliciumoxynitrid (Si2N2O) enthalten, einen Phasenbestand an Silicium |
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