REACTION-BONDED SILICON NITRIDE-BASED MATERIALS AND METHOD FOR PRODUCING THE SAME

Reaktionsgebundene Werkstoffe auf Basis von Siliciumnitrid, die als kristalline Phasen Siliciumnitrid (Si3N4), Siliciumcarbid (SiC) und Siliciumoxynitrid (Si2N2O) enthalten, einen Phasenbestand an Silicium

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Hauptverfasser: SCHOENFELDER, LOTHAR, WOETTING, GERHARD
Format: Patent
Sprache:eng ; fre ; ger
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Beschreibung
Zusammenfassung:Reaktionsgebundene Werkstoffe auf Basis von Siliciumnitrid, die als kristalline Phasen Siliciumnitrid (Si3N4), Siliciumcarbid (SiC) und Siliciumoxynitrid (Si2N2O) enthalten, einen Phasenbestand an Silicium