Fabrication method for producing semiconductor chips with enhanced die strength

A fabrication method for producing semiconductor chips with enhanced die strength comprises following steps: forming a semiconductor wafer with enhanced die strength by comprising the substrate, the active layer on the front side of the substrate and the backside metal layer on the backside of the s...

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: HUA CHANG-HWANG
Format: Patent
Sprache:eng
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