Apparatus and method for producing solar cells

A method and apparatus for forming a solar cell. The apparatus includes a housing defining a vacuum chamber and a rotatable substrate apparatus configured to hold a plurality of substrates on a plurality of surfaces wherein each of the plurality of surfaces are disposed facing an interior surface of...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: YANG CHIH-JEN, TENG EDWARD, HSIAO KUO-JUI, CHAO YINGN
Format: Patent
Sprache:eng
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