Reverse ALD
A semiconductor process and apparatus includes forming first and second gate electrodes (151, 161) by forming the first gate electrode (151) over a first high-k gate dielectric (121) and forming the second gate electrode (161) over at least a second high-k gate dielectric (122) different from the fi...
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Hauptverfasser: | , |
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Format: | Patent |
Sprache: | eng |
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