In situ cleaning process for field effect device spacers

A method is provided for in situ cleaning of spacers (42) separating an anode (14) and cathode (12) of a flat panel display (10) in a vacuum by impacting electrons upon the spacers (42).

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: JASKIE JAMES E, LI HAO
Format: Patent
Sprache:eng
Schlagworte:
Online-Zugang:Volltext bestellen
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!