Scanning transmission ion microscope

Scanning Transmission Ion Microscope. The microscope includes a bright helium ion source to generate an ion beam and a focusing electrostatic optical column to focus the ion beam. A translation stage supports a sample to receive the focused ion beam and a detector responds to ions transmitted throug...

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: WARD BILLY W
Format: Patent
Sprache:eng
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