Control system for semiconductor processing apparatus

A control system for a semiconductor processing apparatus comprises a control server connected to a semiconductor processing apparatus, a verification server connected to the control server, and a database connected to the verification server. The verification server evaluates input parameter values...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	KIM MYUNG-KILL, WEON JONG-HWAN, CHUNG JAE-WOO, JUNG HYO-SANG, SIM KYUNG-BO, JEON TAE-HA
Format:	Patent
Sprache:	eng
Schlagworte:	CALCULATING COMPUTING COUNTING ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING PHYSICS
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