Infrared monitor and control for vapor hydrogen peroxide processing techniques
A vaporizer ( 14 ) supplies hydrogen peroxide and water vapor to a high level disinfection or sterilization region ( 20 ). Mid-infrared light detectors ( 32 ) detect light in the mid-infrared range which has traversed a region of the treatment chamber in a first narrow spectrum centered at 8,000 nan...
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Format: | Patent |
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