Process of manufacturing a perpendicular magnetic pole structure

For PMR (Perpendicular Magnetic Recording) design, one of the major technology problems is the use of CMP to fabricate the pole structure. If the device is under-polished there is a danger of leaving behind a magnetic shorting layer while if it is over-polished there may be damage to the main pole....

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: YANG DANNING, HAN CHERNGYI
Format: Patent
Sprache:eng
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