X-y Infrared CCD sensor and method for making same

An x-y infrared CCD sensor employing the photoelectric effect as in a p-doped semiconductor substrate of silicon with an n+pn diode as the infrared sensor element with a three layer structure in the vertical direction in the semiconductor substrate and a n-channel charge coupled device shift registe...

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: MADER, HERMANN, RISCH, LOTHAR
Format: Patent
Sprache:eng
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