Pattern-forming process

This invention relates to a pattern-forming process using a radiation sensitive chalcogenide layer composed of a laminate of amorphous chalcogenide layer (2) and thin silver layer (3), and discloses a pattern-forming process characterized by etching out an amorphous chalcogenide layer (22) not doped...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: MIZUSHIMA, YOSHIHIKO, YOSHIKAWA, AKIRA, OCHI, OSAMU, HISAKI, TOMOKO
Format: Patent
Sprache:eng
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