SEPARATION METHOD AND ASSEMBLY FOR CHIP-ON-WAFER PROCESSING
A method for separating semiconductor die stacks of a chip-on-wafer assembly is disclosed herein. In one example, divider walls are arranged in a pattern on a first surface of a device wafer such that regions between the divider walls define mounting sites. Die stacks are mounted to the device wafer...
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Format: | Patent |
Sprache: | eng |
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