TRANSISTOR WITH BURIED P-FIELD TERMINATION REGION
In one aspect, a method of fabricating a transistor includes depositing a first epitaxial layer, depositing a second epitaxial layer on the first epitaxial layer, implanting the second epitaxial layer to form a p-field termination region, depositing a third epitaxial layer on the p-field termination...
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Format: | Patent |
Sprache: | eng |
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