PARTICLE BEAM IRRADIATION APPARATUS

The particle beam irradiation apparatus includes: an irradiation unit configured to radiate a particle beam; a first detection unit configured to detect first particles; a second detection unit configured to detect second particles; an image forming unit configured to form an observation image based...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: ASAHATA, Tatsuya, MAN, Xin, ASO, Takuma, SATO, Makoto
Format: Patent
Sprache:eng
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